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Wolfram Tantal Molybdän Titan Niob
- Sputtertargets, rund und rechteckig, auf Wunsch gebondet
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- Verdampfermaterialien (Pellets und Granulat)
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- Verdampferschiffchen (kein Titan)
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Bis zum Jahresende verkaufen wir den 12-fach-Schwingquarzsensor Crystal 12 mit einem Rabatt von 30 %. Der Crystal 12 läßt sich frei in der Beschichtungskammer positionieren und kann durch separat erhältliche Quarzhalter innerhalb weniger Minuten mit frischen Schwingquarzen geladen werden.
[ Weitere Informationen ] (PDF 200 KB) |
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EIES-Messsystem Guardian IV
Der Guardian IV mit EIES-Technik ermöglicht die Messung und Regelung sehr hoher und sehr niedriger Raten und eignet sich besonders auch für sehr lange Anlagen-Betriebszeiten. Als Option läßt sich der Guardian IV für die Simultanverdampfung mit maximal 8 Quellen aufrüsten.
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Schwingquarz-Messkarte SQM-242
Mit der Schwingquarz-Messkarte können Sie Ihren PC zu einem vollwertigen Schwingquarz-Ratenregelgerät machen. Sie brauchen dann pro Kanal nur noch einen Sensor und eine Oszillator. An die SQM-242 können maximal 4 Sensoren angeschlossen werden. Wenn die beiden analogen Ausgänge über die Software zur Steuerung zweier Beschichtungsquellen konfiguriert werden, können mit jeder SQM-242 zwei Quellen simultan geregelt werden.
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Schwingquarz-Messgerät Q-pod
Dieser Raten-/Schichtdicken-Monitor benötigt nur noch einen Messkopf und einen PC. Damit ist der Q-pod eines der kleinsten und preiswertesten Rate-/Schichtdicken-Messgeräte auf dem Markt.
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Neue VertriebspartnerschaftAb sofort bieten wir Ihnen die TVP-Kältemaschinen der Firma TELEMARK an.
Mit den TVP-Kältemaschinen k�nnen Sie Meißnerfallen annähernd beliebiger Größe betreiben und so die Effizienz Ihrer Beschichtungsanlage entscheidend steigern.
Die wesentlichen Vorteile der TVP-Kältemaschinen in Verbindung mit Meißnerfallen auf einen Blick:
- niedrigerer Enddruck in kürzerer Zeit
- Verbesserung der Schichtqualität durch niedrigeren Wasserdampf-Partialdruck
- schnelle Abkühlung f�r kürzere Zykluszeiten, Zeitersparnis 25-90 %, (abhängig von der Anlagen- und Prozessbedingungen)
- kein kostspieliger LN2-Einsatz
- effizientes Pumpen von Wasserdampf durch hohe Kühlleistung
- schnelles Aufwärmen
- Einkreis- und Zweikreis-Modelle
- umfassendes digitales Steuerungspaket mit externer digitaler Kommunikationsmöglichkeit
- kleine Grundfläche
- 3 Modelle mit 1.000 Watt, 2.000 W und 3.500 W Kälteleistung
- maximales Saugvermögen 50,000 l/s, 90,000 l/s und 220,000 l/s
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