Erster Kühler von Telemark Cryogenics
Dieser Tage wurde der erste Kühler vom Typ TVP3500 von Telemark Cryogenics bei der Firma FHR Anlagenbau in Betrieb genommen. Mit diesem Kühler wird eine Meißnerfalle in einer Beschichtungsanlage gekühlt.
Erfolgreicher Einsatz der Kryofalle MicroStar bei FHR Anlagentechnik
Kürzlich wurde die erste Kühlfalle MicroStar von FHR Anlagentechnik an einer Sputteranlage eingesetzt. Mit dem MicroStar verringert sich die Abpumpzeit von 43 min auf 23 min. Es waren vom Kunden 30 min Abpumpzeit auf 2,0*E-6 mbar spezifiziert, die nur mit Hilfe des MicroStar zu erreichen sind.
 
| Große Diffusionspumpen an In-Line Anlage
Die Firma Alanod in Ennepetal erwarb kürzlich 4 große Diffusionspumpen der Nennweite 630 mm von HSR. Diese Pumpen sind an einer großen Durchlaufanlage montiert. In dieser Anlage wird Metallband mit unterschiedlichen Funktionsschichten beschichtet.
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Dritte Kryopumpe
Eine dritte Kryopumpe von Sumitimo (SHI) Cryogenics wurde am Institut f�r Halbleiterphysik in Frankfurt (Oder) an einer MBE Anlage in Betrieb genommen.
 
Solenoidmagnet an der ETH Zürich
Am Institut für Nahrungsmittel und Ernährung der ETH Zürich läuft seit kurzem ein "trockener", d. h. mit Kältemaschine gekühlter Solenoidmagnet von Cryogenic. Mit ihm werden Untersuchungen an Lebensmittelproben zur Kombination starker Magnetfelder mit destabilisierenden Scherkräften durchgeführt. Weitere Informationen (PDF, 225 KB) |
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Kryopumpe Marathon-12 bei Roth & Rau AG
Die Photos zeigen die Kryopumpe Marathon-12 an einer Ion Beamer Sputter Deposition Anlage (IBSD) mit zwei Ionenstrahlquellen LISQ400 und einem Linearen Substratbewegungssystem mit überlagertem Substratspin. Es werden damit dünne Multischichten für Röntgenspiegel, EUVL-Spiegel und ähnliche Anwendungen am IWS in Dresden hergestellt
  
Vier Wasserdampffallen MicroStar an einer Sputteranlage von Von Ardenne Anlagentechnik f�r die Herstellung von MEMS-Bauelementen
Diese Anlage wird u.a. f�r das Sputtern von Leichtmetalllegierungen mit hohen Anforderungen an Schichtqualität und Reproduzierbarkeit bei der Fertigung von hochgenauen, freitragenden Mikrospiegelarrays genutzt.
 
2 Discovery® Sputteranlagen in Betrieb genommen
Bei NL Nanosemiconductor in Dortmund wurden zwei Discovery® Sputteranlagen von Denton Vacuum in Betrieb genommen. Die Anlagen werden für die Herstellung von III-V Laserdioden genutzt.
Supraleitende Magnete III
Am Max-Planck-Institut für Kernphysik in Heidelberg wurden in der Gruppe von
Dr. Crespo L�pez-Urrutia
zwei "trockene", d. h. mit Kältemaschine gekühlte, 6 T Magnete der Firma
Cryogenic in Betrieb genommen, von denen einer
für TRIUMF in Vancouver, Kanada, bestimmt ist.
Diese Magnete sind zentrale Bestandteile von EBIT Ionenquellen, mit denen stromstarke Strahlen
hochgeladener schwerer Ionen erzeugt werden. Eine strikte UHV-Kompatibilität aller
Magnetkomponenten ist unabdingbare Voraussetzung für diese Anwendung.
Kleine Aufdampfanlage
Am Max-Planck-Institut für Molekulare Genetik in Berlin wurde in der Gruppe von Dr. Torsten
Mielke eine Anlage des neuen Typs "Bench Top Turbo IV" (BTT IV) von Denton Vacuum in Betrieb
genommen. Mit dieser Anlage werden im Rahmen des Verbundprojekts "Ultrastrukturnetzwerk"
(http://www.ultrastrukturnetzwerk.de/)
Elektronenmikroskopie-Proben mit Kohlenstoffschichten besonders hoher Qualität beschichtet.
Ziel dieses Projekts ist die Strukturaufklärung von biologischen makromolekularen Komplexen,
wie z.B. den ribosomalen Komplexen, mittels hochauflösender Kryo-Elektronenmikroskopie.
Supraleitender Magnet
Am MPI für Metallforschung in Stuttgart bei Dr. Goering
wurde ein schnellschaltender 2 T Magnet von Cryogenic
installiert. Dieser Magnet ist "cryogen-free", er wird direkt mit einer
Kältemaschine gekühlt. Die Abkühlzeit auf <4 K beträgt etwa 10 h. Der Magnet besitzt eine
65 mm Warmbohrung und ist um seine Querachse schwenkbar. Er wird für Untersuchungen der
magnetischen Anisotropie und der magnetischen Momente von Festkörpern unter Ausnutzung
des XMCD Effektes eingesetzt werden.
Gro�e Kryopumpe
Bei Bte in Elsoff wurde zwei Kryopumpen
Velco 500A von HSR an gro�en Produktions-Aufdampfanlagen
des Typs SCS1100 von Balzers in Betrieb genommen. Bte beschichtet optische Komponenten im
Mehrschichtbetrieb, daher kommt es hier in besonderem Ma� auf die Leistungsfähigkeit und
Zuverlässigkeit der Anlagen-Komponenten an. Bei Kryopumpen bezieht sich dies vor allem auf
die Kälteleistung unter Belastung und über längere Zeiträume und auf den Kompressor.
Supraleitender Magnet II
Am Institut für Technische Physik des Forschungszentrums Karlsruhe wurden zwei "trockene" Magnete
mit gro�er Warmbohrung (ca. 400 mm) in Betrieb genommen.
Ionenquelle
Am Zentrum für Nanostrukturtechnologie
und Molekularbiologische Technologie (Nano+Bio Center) der Technischen Universität
Kaiserslautern wurde eine Aufdampfanlage der
Firma Pfeiffer in Betrieb genommen, die mit einer Kaltkathoden-Ionenquelle
CC-105 von Denton Vacuum ausgerüstet ist. Mit der Anlage werden hochwertige Beschichtungen
im Rahmen der am Zentrum vorhandenen Lithographie durchgeführt.
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