Kryopumpen
Kryopumpen werden überall dort benutzt, wo es auf ein sehr gutes und ölfreies Vakuum ankommt
und ein niedriger Wasserdampf-Partialdruck wichtig ist.
SHI-APD Cryogenics waren vor über 25 Jahren entscheidend an der Entwicklung der ersten
kommerziellen Kryopumpen beteiligt und sind heute einer der führenden Hersteller. Es wird
eine breite Palette unterschiedlicher Modelle angeboten, sowohl in HV- als auch in
UHV-Ausführung.
Durch ihren einfachen mechanischen Aufbau (es gibt nur 3 bewegte Teile) sind die Kryopumpen
von SHI-APD Cryogenics robust und zuverlässig und sie sind sehr einfach zu warten. Die etwa
alle 10.000 Betriebsstunden erforderliche Wartung des Kaltkopfes kann auch unter Vakuum an
der Anlage durchgeführt werden. Ein Austausch der Pumpe ist in der Regel nicht erforderlich,
was eine deutliche Steigerung der Up-Time in Verbindung dem entsprechenden Einfluss auf die
Betriebskosten bedeutet.
Marathon®-Baureihe
Speziell für die Anforderungen der Halbleiter-Industrie, wo es neben höchster
Zuverlässigkeit auf leichte Austauschbarkeit, auch über kontinentale Grenzen hinweg,
ankommt, wurden die Refrigerator-Kryopumpen der Marathon ®-Serie entwickelt.
Sie sind mit Kaltköpfen besonders hoher Leistung ausgestattet und verbinden große
Kapazität und hohes Saugvermögen, insbesondere für Wasserstoff, mit der
Zuverlässigkeit der Displex®-Kaltköpfe.
Die Marathon®-Kryopumpen sind durch ihre metrische Ausführung überall
universell einsetz- und austauschbar und entsprechen den gängigen Normen.
Die Marathon ®-Kryopumpen sind in den Nennweiten Nennweiten 200 mm, 250 mm, 300 mm und 400 mm
(ISO und CF) lieferbar, z. T. auch in gewinkelter "LP"-Ausführung.
Als Option bieten wir Ihnen einen passenden Temperaturmonitor mit den für eine Steuerung
erforderlichen Temperatur-Triggerpunkten.
Technische Daten |
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Weitere Modelle
Die Marathon6reg;-Baureihe wird ergänzt durch die kompakte Kryopumpe APD-6UHV mit DN160CF Flansch
für kleinere Anlagen mit hohen Anforderungen an die Vakuumqualität sowie die grosse Kryopumpe
APD-22 mit 20'' (ca. 500 mm) ANSI Flansch und hohem Saugvermögen für Produktionsanlagen, z. B.
für die Optik. Als Option ist ein passender Temperaturmonitor mit den für eine Steuerung
erforderlichen Temperatur-Triggerpunkten erhältlich.
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