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Ionenquellen Ohne das ionenunterstützte Aufdampfen (IAD) sind die hohen Qualitätsanforderungen auf vielen Gebieten der Dünnschicht-Optik heute nicht mehr erfüllbar. Zentrale Komponente dieses Prozesses ist die Ionenquelle. Sie muss die geforderten Stromdichten liefern und dabei stabil und zuverlässig laufen, auch während langer Prozesse. Darüber hinaus soll sie wartungsfreundlich und kompakt sein. Für diese Anwendung baut Denton Vacuum seit vielen Jahren seine patentierten Kaltkathoden-Ionenquellen der CC-Baureihe. Sie wurden speziell für den Betrieb mit reinem Sauerstoff entwickelt. Das akuelle Modell CC-105 ist die bislang leistungsstärkste und dabei kompakteste Ionenquelle dieser Baureihe. Mit ihr künnen dichte, praktisch Shift-freie Schichten in Anlagen bis etwa 1 m Rezipientendurchmesser hergestellt werden. Die CC-105 wird sowohl von Lohnbeschichtern (z. B. Bte), als auch von Anlagen-Herstellern (z. B. Pfeiffer Vacuum) eingesetzt. Neben der eigentlichen Funktion ist hier vor allem die Tauglichkeit der CC-105 für den harten Produktionsalltag von Bedeutung.

Im Laserzentrum Hannover wird die CC-105 für die Entwicklung und die Herstellung dünner Hochleistungsschichten für Laseranwendungen eingesetzt. Im Rahmen dieser Arbeiten wurde sie umfassend charakterisiert. Dabei wurde ihre Leistungsfähigkeit in unterschiedlichen Anlagentypen (z. B. BAK 760) nachgewiesen. Es werden routinemäßig Schichten hergestellt, die bis auf die thermische Ausdehnung Shift-frei sind, d. h. kein Wasser mehr aufnehmen. Informationen zum Betrieb der Kaltkathoden-Ionenquellen finden Sie auf der Homepage von Denton Vacuum und hier: Poster Oberflächentechnik Mainz November 2001 (PDF, 0,4 MB) Vortrag OptoNet Oktober 2003 (PDF, 2,2 MB) Vortrag Optical Systems Design St. Etienne Oktober 2003 (PDF, 8,8 MB) Vortrag 10 Jahre EFDS Dresden November 2002 (PDF, 15 MB)

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