Vakuum-Beschichtungstechnik
Dünne Schichten sind heute aus fast allen Bereichen der Technik nicht mehr
wegzudenken. Aufdampfen, Sputtern und die plasmaunterstützte Abscheidung (PECVD)
sind die am häufigsten eingesetzten Herstellungsverfahren.
Denton Vacuum ist seit Jahrzehnten einer der bekanntesten Hersteller von
Vakuum-Beschichtungsanlagen in den USA. Zunächst vorwiegend auf dem Gebiet der
Optik tätig, erarbeitete sich die Firma mittlerweile einen festen Platz auch als
Hersteller von Anlagen z. B. für die Sensorik, die Mikrosystemtechnik, die
Mikroelektronik und die Datenspeicher-Technik. Denton stellt Aufdampfanlagen,
kleine Sputteranlagen. PECVD-Anlagen und Ionenstrahl-Sputteranlagen her. Alle Anlagen befinden sich in der
Technik und in der Steuerung/Software auf dem letzten Stand der Technik, sind dabei
aber für die harten Bedingungen der Produktion konzipiert.
Darüber hinaus besitzt Denton Vacuum seit vielen Jahren zwei Abteilungen für die
Lohnbeschichtung optischer Komponenten. In der größeren der beiden wird vorwiegend
aufgedampft, natürlich in eigenen Anlagen. Hier stehen etwa 10 Aufdampfanlagen.
Aus dieser Abteilung flossen und fließen viele wichtige Erkenntnisse in die
Konstruktion der aktuellen Aufdampfanlagen ein. In der zweiten Abteilung wird Sol
Gel-, d. h. Tauch-Beschichtung großer Substrate betrieben.
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