| kleine Beschichtungsanlagen
z.B. für die Elektronenmikroskopie, Forschung und Qualitätssicherung- PVD
- Ionenstrahl-Sputtern
- PE-CVD
Ionenquellen
- für das ionenunterstützte Aufdampfen (IAD)
Denton Vacuum |
| - Schwingquarz-Monitore und -Regler für
Rate und Schichtdicke
INFICON |
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- kleine Kryopumpen
- Wasserdampf-Baffles
RICOR |
Vormals APD Cryogenics/Air Products
| - Kryopumpen
- 10 K GM Kaltköpfe
- Pulsröhrenkühler
Sumitomo (SHI) Cryogenics of Europe Ltd. |
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- grosse Kryopumpen
- Öldiffusionspumpen
- Titan-Sublimationspumpen
HSR Kryotechnik |
| - Magnetron-Kathoden
- Sputter-Netzteile
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| - automatisierte Langmuir-Sonden
Scientific Systems |
| - Kältemaschinen für Meißnerfallen
Telemark |
| - grossflächige Ionenquellen und Plasmaquellen
Ionen- und Plasmatechnik Jakob |
| - Brenner und Wäscher für gefährliche Abgase,
z.B. von Plasmaprozessen
DAS |
