Große Kryopumpen (500mm - 1000 mm)
In der Optik, der Elektronik und der Sensorik gibt es immer wieder Fälle, in denen Produktions-Beschichtungsanlagen besonders hohe Vakuumanforderungen erfüllen müssen. Ein niedriger Wasserdampf-Partialdruck steht hier in der Regel an erster Stelle, es kann aber auch ein niedriges Kohlenwasserstoff-Niveau wichtig sein. Diese Anforderungen sind streng nur mit Kryopumpen erfüllbar, evtl. in Kombination mit einer Meißnerfalle. Für größere Anlagen sind oft Kryopumpen der 10.000 l/s Klasse mit 500 mm Flansch erforderlich.
Kryopumpen dieser Größe leiden oft darunter, daß der verwendete Kaltkopf eigentlich unterdimensioniert ist. Dadurch wird die Pumpe thermisch empfindlich, was besonders bei reaktiven Prozessen mit permanenter hoher Gasbelastung durch einen entsprechenden Temperaturanstieg der zweiten Stufe deutlich wird. Auch ein kurzzeitiger Gasstoß, wie er im Produktionsalltag immer einmal auftritt, kann zu einer unzulässig hohen Temperatur führen. Normalerweise ist die höchstzulässige Temperatur der zweiten Stufe durch die Anlagensteuerung auf 20-22 K begrenzt, um eine ungewollte Freisetzung der leichtesten Gase H2 und He zu vermeiden. Eine solche ungewollte Freisetzung stellt grundsätzlich ein Risiko dar und muß daher vermieden werden. In einem solchen Fall bricht die Anlagensteuerung normalerweise den Prozeß ab und ermöglicht es der Kryopumpe, ohne Gasbelastung wieder einzukühlen.
Vor kurzem brachte SHI-APD Cryogenics mit dem CH-210 einen Kaltkopf auf den Markt, der alle seine Vorgänger an Leistung übertrifft. Auf der Grundlage dieses Kaltkopfes entwickelte HSR Kryotechnik die Kryopumpen Velco-500A. Sie entsprechen in ihren äußeren Dimensionen den ehemaligen Modell RZP501 von Balzers und kann daher ohne weiteres an deren Stelle eingesetzt werden. Durch die Verwendung des leistungsstarken CH-210 Kaltkopfes weisen die Velco-Pumpen jedoch eine außergewöhnlich thermische Stabilität auf. Damit eignen sie sich hervorragend für Fälle, in denen gemäß des oben Gesagten besondere Anforderungen an die Kryopumpe gestellt werden.
Die Velco-Pumpen sind mit einer Si-Diode für die Temperaturmessung ausgestattet. Als Option ist ein passender Temperaturmonitor mit den für die Steuerung erforderlichen zwei einstellbaren Temperatur-Triggerpunkten erhältlich. Außerdem werden die Velco-Pumpen auf Wunsch mit einer Heizung zur schnelleren Regenerierung geliefert.
Eine kurze Zusammenfassung der beim Einsatz von Kryopumpen zu beachtenden Regeln finden Sie hier (PDF-Dokument 73KB).
Sollten Sie nicht über den Acrobat Reader verfügen, so können Sie ihn hier herunterladen.
JCM ist Mitglied der
Deutschen Physikalischen Gesellschaft
Dr. Jürgen Christian MüllerZeilweg 19 D-60439 Frankfurt am Main Tel. +49-69-958101-58 Fax: +49-69-958101-68 USt.-ID Nr. DE155569101 Design & Hosting by in-put GbR JCM ist Mitglied der
Europäische Forschungsgesellschaft
Dünne Schichten e.V.
