Öl-Diffusionspumpen
Die Öl-Diffusionspumpen von HSR (ehemals Balzers) gliedern sich in 3 Gruppen:
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1. Kleinst-Diffusionspumpen
Für das Evakuieren kleiner Rezipienten in der Analytik, zur Erzeugung und Aufrechterhaltung
von Isolations-Vakua oder andere Aufgaben, bei denen kleine Volumina zu evakuieren sind, bieten
sich oft kleine Diffusionspumpen an. Sie besitzen ein gutes Saugvermögen für die meisten Gase,
sind robust und preisgünstig.
Für diese Anwendungen bietet HSR ein Modell mit einem DN40ISO-K Flansch in einer wasser- und
einer luftgekühlten Version an. Es besitzt ein Saugvermögen für Luft/N2 von 22 l/s. |
2. Diffusionspumpen mit integriertem wassergekühltem Baffle
Für kleine Beschichtungsanlagen, Öfen, die Bildröhrenfertigung und Kleinpumpstände für
diverse Anwendungen fertigt HSR eine Baureihe kompakter Öl-Diffusionspumpen mit den Nennweiten
DN63ISO-K - DN250ISO-K. Diese Pumpen sind jeweils mit einem integrierten wassergekühlten Baffle
zur Minimierung der Ölrückströmung ausgestattet und bieten dadurch den Vorteil geringer Bauhöhe.
Ihre Nenn-Saugvermögen (N2), jeweils einschliesslich des integrierten Baffles, betragen
150 l/s - 1.750 l/s. |
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3. Grosse Diffusionspumpen
Grosse Aufdampfanlagen für die Optik werden in der Mehrzahl der Fälle immer noch mit
Öl-Diffusionspumpen ausgestattet, da diese ein hohes Saugvermögen mit grosser Robustheit
verbinden und dabei preiswert sind. Darüber hinaus werden solche grossen Diffusionspumpen
u. a. auch für Band-Beschichtungsanlagen, Anlagen der Vakuum-Metallurgie (Schmelzen/Giessen),
füektronenstrahl-Schweissanlagen und für Weltraum-Simulationskammern eingesetzt.
Für diese Anwendungen bietet HSR seine Baureihe grosser Diffusionspumpen mit den Nennweiten
320 mm - 1.000 mm an. Alle Pumpen sind wahlweise in den Versionen ISO-K und ISO-F erhältlich.
Die Nenn-Saugvermögen betragen 3.500 l/s - 50.000 l/s. Bei Verwendung eines Baffles liegen die
effektiven Saugvermögen, je nach verwendetem Modell, natürlich entsprechend niedriger. |
Baffles
Um eine Rückströmung von Diffusionspumpenöl und damit eine Verunreinigung des Rezipienten
so weit wie möglich zu unterdrücken, bietet HSR eine Reihe von Baffles an. Diese unterscheiden
sich in der Geometrie sowie in der Art der Kühlung. |
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Zubehör und Betriebsmittel für Diffusionspumpen
Für seine Diffusionspumpen, aber auch für die Diffusionspumpen anderer Hersteller, bietet HSR
umfangreiches Zubehör an. Dazu gehören natürlich auch die erforderlichen Betriebsmittel. Es
werden angeboten:
- Betriebsmittel
- Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung
- Temperaturschutzschalter, Temperaturmelder
- LN2 Sensoren, Füllstandsregler und Versorgungseinrichtungen
- Kühlmaschinen
  
In Verbindung mit den Öl-Diffusionspumpen bietet HSR darüber hinaus:
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Komplette Diffusions-Pumpstände
Auf Wunsch liefert HSR die Diffusionspumpen auch im Rahmen kompletter Pumpstände, zusammen
mit allen notwendigen bzw. vom Kunden spezifizierten Ventilen und Drucksensoren. Diese
Komplett-Pumpstände sind wahlweise in manueller oder fernsteuerbarer/automatisierbarer
Ausführung lieferbar. |
Steuergerät für Diffusions-Pumpstände
Beim Einsatz von Diffusionspumpen bzw. Pumpständen, die Diffusionspumpen enthalten, müssen bei
der Bedienung natürlich die Eigenheiten dieses Pumpentyps berücksichtigt werden. Dies bezieht
sich vor allem auf die notwendigen Aufheiz- und Abkühlzeiten. Bei der Einbindung einer solchen
Pumpe in eine Anlagensteuerung muss diese entsprechend programmiert werden.
Zur Vereinfachung bietet HSR das Steuergerät PCA 600 für Diffusionspumpen an. In Verbindung
mit einem entsprechenden Temperatursensor an der Pumpe (Pt100) und den entsprechenden R�ckmeldesignalen
der angeschlossenen Vorpumpe(n) und Ventile führt das PCA 600 die kalte Diffusionspumpe warm,
belüftet und evakuiert das angeschlossene Vakuumsystem und führt den Pumpstand schliesslich
wieder in den ausgeschalteten Zustand zurück.
Das PCA 600 kann manuell, oder aber ferngesteuert, wahlweise über die RS232 Schnittstelle oder
digitale Eingänge, betrieben werden. |
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