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Öldiffusion Pumpe, Kryo Pumpe, Hochvakuum, Ti Sublimat, Baffle

Titan-Sublimationspumpe für UHV-Anlagen

Zur Evakuierung von Rezipienten im tiefen UHV-Bereich (z. B. an Ionen-Beschleunigern) werden häufig Ionen-Getterpumpen eingesetzt. Bei diesen wird das Gettermaterial in einer Dioden-Entladung gesputtert (oder zerstäubt, daher auch Ionen-Zerstäuberpumpen) und "begräbt" Restgasmoleküle, während es an den vorgesehenen Stellen der Pumpe kondensiert. Ionen-Getterpumpen besitzen ein einigermassen gleichmässiges Saugvermögen ¨ber das Massenspektrum hinweg, allerdings ist dieses nicht sehr hoch.

Um beim Abpumpen oder bei einem erhöhten Gasanfall zusätzliches Saugvermögen zur Verfügung zu stellen, wird oft eine Titan-Sublimationspumpe zwischen UHV-Pumpe und Rezipienten geflanscht. Bei diesem Pumpentyp wird von einem (umschaltbaren) Titan-Filament mit Hilfe eines entsprechenden Netzteils Material verdampft (Titan sublimiert) und kondensiert auf den Wänden des Pumpengehäuses. An dieser aktiven Schicht werden reaktive Gase, wie O2 und N2, in nennenswertem Umfang gebunden. Sobald die Schicht nicht mehr hinreichend aktiv ist, d. h. das Saugvermögen zu niedrig geworden ist, wird erneut eine frische Schicht aufgedampft.

HSR bietet eine Titan-Sublimationseinheit an, auf Wunsch auch in Verbindung mit einem Gehäuse und dem passenden Netzteil und Steuergerät PCU-300T.
Das Gehäuse gibt es in zwei verschiedenen Ausführungen. Beide besitzen oben (Rezipientenseite) einen Flansch DN160 CF. Am unteren Ende (Hochvakuumpumpenseite) besitzen sie wahlweise einen Flansch DN100CF oder DN160CF. Ausserdem sind beide Versionen mit einen seitlichen Flansch DN40CF für die Sublimationseinheit ausgestattet. Schliesslich besitzen die Gehäuse noch eine LN2-Kühlfalle in Verbindung mit den entsprechenden Anschlüssen. Als Zubehör wird eine Fülleinrichtung angeboten, mit welcher die Kühlfalle aus einem Dewar-Gefäss, oder aus einer zentralen Stickstoff-Versorgung betrieben werden kann.
Die Titan-Sublimationspumpe ist uneingeschränkt UHV-kompatibel. Bei entsprechender Konditionierung ermöglicht ihr hohes Saugvermögen in Verbindung mit einer guten, UHV-kompatiblen Turbopumpe Enddrücke im Bereich von < 10-10 mbar.
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