Titan-Sublimationspumpe für UHV-Anlagen
Zur Evakuierung von Rezipienten im tiefen UHV-Bereich (z. B. an Ionen-Beschleunigern) werden häufig
Ionen-Getterpumpen eingesetzt. Bei diesen wird das Gettermaterial in einer Dioden-Entladung
gesputtert (oder zerstäubt, daher auch Ionen-Zerstäuberpumpen) und "begräbt" Restgasmoleküle,
während es an den vorgesehenen Stellen der Pumpe kondensiert. Ionen-Getterpumpen besitzen ein
einigermassen gleichmässiges Saugvermögen ¨ber das Massenspektrum hinweg, allerdings ist dieses
nicht sehr hoch.
Um beim Abpumpen oder bei einem erhöhten Gasanfall zusätzliches Saugvermögen zur Verfügung zu
stellen, wird oft eine Titan-Sublimationspumpe zwischen UHV-Pumpe und Rezipienten geflanscht.
Bei diesem Pumpentyp wird von einem (umschaltbaren) Titan-Filament mit Hilfe eines
entsprechenden Netzteils Material verdampft (Titan sublimiert) und kondensiert auf den Wänden
des Pumpengehäuses. An dieser aktiven Schicht werden reaktive Gase, wie O2 und N2, in
nennenswertem Umfang gebunden. Sobald die Schicht nicht mehr hinreichend aktiv ist, d. h. das
Saugvermögen zu niedrig geworden ist, wird erneut eine frische Schicht aufgedampft.
HSR bietet eine Titan-Sublimationseinheit an, auf Wunsch auch in Verbindung mit einem Gehäuse
und dem passenden Netzteil und Steuergerät PCU-300T.
Das Gehäuse gibt es in zwei verschiedenen Ausführungen. Beide besitzen oben (Rezipientenseite)
einen Flansch DN160 CF. Am unteren Ende (Hochvakuumpumpenseite) besitzen sie wahlweise einen
Flansch DN100CF oder DN160CF. Ausserdem sind beide Versionen mit einen seitlichen Flansch DN40CF
für die Sublimationseinheit ausgestattet. Schliesslich besitzen die Gehäuse noch eine LN2-Kühlfalle
in Verbindung mit den entsprechenden Anschlüssen. Als Zubehör wird eine Fülleinrichtung
angeboten, mit welcher die Kühlfalle aus einem Dewar-Gefäss, oder aus einer zentralen
Stickstoff-Versorgung betrieben werden kann.
Die Titan-Sublimationspumpe ist uneingeschränkt UHV-kompatibel. Bei entsprechender Konditionierung
ermöglicht ihr hohes Saugvermögen in Verbindung mit einer guten, UHV-kompatiblen Turbopumpe
Enddrücke im Bereich von < 10-10 mbar.
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