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Bei der Verwendung ölgeschmierter Vorvakuumpumpen, vor allem Drehschieber- und Sperrschieber-Pumpen,
muß die in der Nähe des Enddruckes nicht unerhebliche Rückströmung von verdampftem Pumpenöl in
Richtung der Hochvakuumpumpe bzw. des Rezipienten berücksichtigt werden. Bei empfindlichen
Prozessen ist oft eine aktive Verminderung dieser Rückströmung unerlässlich.
Für diesen Zweck bietet HSR eine Baureihe von Katalysator-Fallen an. In diesen Fallen wird der
größte Teil der rückströmenden Kohlenwasserstoffe katalytisch verbrannt und damit die Gesamt-
Rückströmung um etwa den Faktor 1000 reduziert.
Die Katalysator-Fallen müssen nur alle 2 Jahre befüllt werden, da sie sich während des Abpumpens
und Belüftens selbst regenerieren. Damit sind sie während dieser Zeit wartungsfrei und besitzen
im Vergleich zu Zeolith-Fallen den Vorteil geringerer Betriebskosten.
HSR liefert die Katalysator-Fallen in den Standard-Nennweiten DN25KF und DN40KF, auf Anfrage auch
in Flanschgröße DN160ISO-K.
Mit einer Turbomolekularpumpe in Verbindung mit der UHV-kompatiblen Titansublimationspumpe und
der Katalysatorfalle lässt sich auf einfache Weise der UHV-Bereich um 10-10 mbar erreichen,
auch wenn der Kompression der Turbopumpe wegen eine ölgedichtete Vorpumpe verwendet wird. |
