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Impedans, Plasma Measurement


Langmuir-Sonden

Octiv® HF-Analysatoren

Semion® Randschicht-Analysatoren

Plasmadiagnose

Plasmen werden in zahlreichen technischen Bereichen eingesetzt. Ein wichtiges Teilgebiet stellt die Dünnschichttechnik dar. Hier werden Plasmen sowohl bei der Beschichtung (z. B. Sputtern, IAD, CVD), als auch bei der Strukturierung (Plasma-/Ionen-Ätzen) verwendet.

Für die gezielte Führung von Plasmaprozessen ist die Beherrschung der Plasmaparameter und damit ihre möglichst präzise Kenntnis eine entscheidende Voraussetzung. Für diese Aufgabe hat Impedans drei Produktfamilien entwickelt, mit denen drei Bereiche in Plasmaanlagen untersucht werden können.






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Dünne Schichten e.V.

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