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Impedans, Plasma Measurement


Plasmadiagnose

Octiv® HF-Analysatoren

Semion® Randschicht-Analysatoren

Langmuir-Sonden



Impedans bietet vier unterschiedliche Langmuir-Sondentypen an.

SingleProbe®
Diese vielseitige Langmuir-Sonde eignet sich für eine große Zahl unterschiedlicher Anwendungen. Mit einer Zeitauflösung von 12,5 ns ist sie eine der schnellsten Sonden auf dem Markt. Ihre große Zuverlässigkeit in Verbindung mit der anspruchsvollen automatischen Auswerte-Software machen sie zu einem wertvollen Instrument bei der Prozessentwicklung und der Problemanalyse.
Langmuir-Sonde Single Probe
DoubleProbe®
Dieses mit einer Doppelspitze ausgestattete Modell wird benutzt, wenn die Leitfähigkeit der Kammerwände unzureichend oder nicht vorhanden ist. Im Übrigen besitzt es die gleichen hervorragenden Eigenschaften wie die SingleProbe®.
Langmuir-Sonde Double Probe
PlatoProbe®
Dieses Sondenmodell ist in der Lage, in Beschichtungsanlagen mit hohen Raten und den sich entsprechend ergebenden dicken Schichten exakte Ergebnisse zu liefern. Dies ist vor allem bei Isolatorschichten, wie sie z. B. in der Optik oder der Mikroelektronik verwandt werden, wichtig.
Langmuir-Sonde Plato Probe
AtmospheriXProbe®
Diese Sonde ist das erste Modell, mit dem atmosphärische und thermische Plasmen vermessen werden können.
Langmuir-Sonde Atmospherix






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Europäische Forschungsgesellschaft
Dünne Schichten e.V.

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