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Impedans, Plasma Measurement


Plasmadiagnose

Langmuir-Sonden

Octiv® HF-Analysatoren

Semion® Randschicht-Analysatoren



Die Semion-Analysatoren arbeiten alle mit einer Sonde, die auf einer Wand oder Fläche in der Plasmakammer befestigt ist. Diese Fläche kann sich auf Erdpotential befinden, oder auf einem anderen Potential. Diese Sonden dienen zur Messung der Ionenstromdichte, aber auch der Ionen-Energieverteilung sowie der Elektronenstromdichte und - energie.
Die Semion-Analysatoren werden in vier Varianten angeboten.
Semion 800®
Der Semion 800® eignet sich für Messungen bei Ionenenergien bis 800 eV und bei Drücken bis ca. 4*10-1mbar.
Seminon 800
Semion 2500®
Der Semion 2500® eignet sich für Messungen bei Ionenenergien bis 2.500 eV und bei Drücken bis ca. 4*10-1mbar.
Seminon 2500
Semion Pulse DC®
Der Semion Pulse DC® dient zur Messung der zeitlichen Abhängigkeit der Ionenstromdichte etc. in gepulsten DC-Plasmen. Es kann bis zu Energien von 800 eV gemessen werden.
Semion Pulsed DC
Semion Spacial®
Die Semion Spacial® dient zur simultanen Messung der Ionenstromdichte an mehreren Stellen der Anlagenwand. Es kann bis zu Energien von 2.500 eV und Drücken bis ca. 1,3 mbar gemessen werden.
Semion Spacial






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