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Impedans, Plasma Measurement


Plasmadiagnose

Langmuir-Sonden

Semion® Randschicht-Analysatoren

Octiv® HF-Analysatoren



Die Octiv-Analysatoren dienen zur Überwachung von Hochfrequenz-Plasmaanlagen. Die Messaufnehmer werden an geeigneter Stelle in die Versorgungsleitung eingesetzt und nehmen die Parameter der vor- und der rücklaufenden Wellenanteile auf. Damit können Änderungen der Anlagen- und Prozessparameter frühzeitig erkannt und entsprechende Maßnahmen ergriffen werden. Auch nach Kammer-Demontagen und -Grundreinigungen sind diese Geräte bei der Wiederinbetriebnahme sehr hilfreich und sparen Zeit und damit Geld.
Die Octiv-Analysatoren werden in vier unterschiedlichen Versionen für unterschiedliche Messaufgaben angeboten.
Octiv Mono®
Der Octiv Mono® dient zur simultanen Messung von Vorwärts- und Rückwärtsleistung und deren Phasenlage in einer koaxialen Leitung. Der Messaufnehmer wird zwischen Generator und Matching-Netzwerk angeordnet. Dabei können HF-Leistungen zwischen 250 mW und 12 kW im Frequenzbereich 0,35 - 60 MHz gemessen werden.
Octiv Mono HF-Analysatoren
Octiv Poly®
Der Sensor des Octiv Poly® kann vor oder hinter dem Matching in die HF-Leitung eingesetzt werden. Vor dem Matching angeordnet, dient er zur präzisen Messung der vor- und rücklaufenden HF-Leistung. Hinter dem Matching angeordnet, dient er zur Messung der Impedanz der Plasmalast. Dabei können neben der Grundfrequenz auch Harmonische gemessen werden. Es steht der Frequenzbereich 0,35 - 30 MHz zur Verfügung. Das Octiv Poly® bietet eine hohe zeitliche Auflösung von ca. 1µs und kann damit auch gepulste Signale auflösen.
Octiv Poly HF-Analysatoren
Octiv Suite®
Der Octiv Suite® ist die Variante mit den umfassendsten Fähigkeiten und den meisten Messmöglichkeiten. Der Messaufnehmer wird, je nach Bedarf, vor oder hinter dem Matching angeordnet. Das Octiv Suite® ermöglicht die Analyse komplexer Signale mit Oberwellen, zeitaufgelöste Messungen an gepulsten Plasmen und sogar die indirekte Bestimmung von Plasmaparametern der angeschlossenen Last.
Octiv Suite HF-Analysatoren
Octiv VI Probe®
Die Octiv VI Probe® dient zur Messung der Impedanz einer Plasmalast bei einer Frequenz. Der Messaufnehmer wird zwischen dem Matching und der Last angeordnet.
Octiv VI HF-Analysatoren






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