SQM-242
Das zweikanalige SQM-242 ist als PCI-Karte ausgeführt und in den meisten PCs betreibbar. Es können mehrere SQM-242 Karten gleichzeitig in einem PC betrieben werden.
Eigenschaften:
- 4 Messkanäle, von diesen können jeweils zwei alternativ oder gleichzeitig als Regelkanäle angewählt und so zwei Quellen alternativ oder simultan geregelt werden,
- jede weitere (optionale) SQM-242 Karte bietet weitere zwei Regelkanäle
- mit der (optionalen) SAM-242 Karte stehen 4 weitere Messkanäle und 2 weitere analoge Ausgänge zur Verfügung
Weitere Informationen (PDF, 210 KB) |
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IC/5
Das mehrkanalige Raten-/Schichtdicken-Regelgerät IC/5 ist als 19''-Einschub ausgeführt.
Eigenschaften:
- durch ModeLock®-Verfahren hohe Mess- und Regelgenauigkeit und hohe Schwingquarz-Ausnutzung,
- 2 unabhängige Mess-/Regelkanäle, damit können zwei Quellen unabhängig voneinander überwacht und geregelt werden, also auch simultan,
- bis zu 6 weitere Sensoren/Messkanäle nachrüstbar, jeder dieser 8 Messkanäle kann als Regeleingang gewählt werden, außerdem können die 8 Kanäle gleichzeitig ausgelesen und z. B. für die Mittelung über größere Substratflächen benutzt werden. Es stehen aber immer nur 2 Regelkanäle zur Verfügung.
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CYGNUS
Das mehrkanalige Raten-/Schichtdicken-Regelgerät CYGNUS wurde speziell für die OLED-Fertigung entwickelt und ist als 19''-Einschub ausgeführt.
Eigenschaften:
- durch ModeLock®-Verfahren hohe Mess- und Regelgenauigkeit und hohe Quarz-Ausnutzung,
- 2 unabhängige Mess-/Regelkanäle, damit können zwei Quellen unabhängig voneinander überwacht und geregelt werden,
- bis zu 4 weitere Mess-/Regelkanäle nachrüstbar, damit können bis zu 6 Quellen unabhängig voneinander geregelt werden, auch simultan.
Weitere Informationen (PDF, 71 KB) |
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Übersicht über die Schwingquarz-Mess- und Regelgeräte
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Monitor/Regler |
Zahl der Sensoren |
Zahl der Regelkanäle |
Kommunikation |
Data-Logging |
| Q-pod |
M |
1 |
- |
UBS |
(ja) |
| SQM-160 |
M |
2 (max.6)) |
- |
RS232 (UBS oder Ethernet) |
ja |
| SQC-310 |
R |
2 (maximal 4*) |
1 |
RS232 + USB 2.0 o. RS232 + Ethernet* |
ja |
| XTC/3S+M |
R |
2 |
1 |
RS232 (Ethernet*) |
ja |
| SQC-310C |
R |
4 |
2 Co-Dep. |
RS232 + USB 2.0 o. RS232 + Ethernet* |
ja |
| SQM-242 |
R |
4 |
2, Co-Dep. |
PCI |
(ja*) |
| IC/5 |
R |
2 (maximal 8*) |
2, Co-Dep. |
RS232 (IEEE-488*) |
(ja*) |
| CYGNUS |
R |
2 (maximal 6*) |
2 (6*) |
RS232 (IEEE-488*) |
(ja*) |
(*) optional gegen Aufpreis
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