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Inficon - Schwingquarz Messtechnik, Schichtdicken, Raten, Beschichtungsraten, Messgerät, sensor, messkopf, Regelung, Regelgerät
http://www.inficon.de


Die Schwingquarz-Sensoren

INFICON bietet ein breites Sensorspektrum für praktisch alle vorkommenden Anwendungen an.

Standard-Sensoren

Für alle Standard-Anwendungen:
  • Sensoren ohne Durchführung, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
  • Sensoren mit Durchführung, Länge einstellbar, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
  • Sensor mit Frontbeladung oder seitlicher Beladung (Cool Drawer)
Weitere Informationen (PDF, 1,3 MB)

Weitere Informationen (PDF, 743 KB)


UHV-Sensoren

Für Anwendungen, bei denen es auf niedrigste Drücke oder höchste Sauberkeit ankommt:
  • Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
  • einige Modelle vor der Endmontage in der Länge einstellbar
  • auf Flansch DN40CF
  • auch mit Blende
Weitere Informationen (PDF, 564 MB)

Weitere Informationen (PDF, 743 KB)


Mehrfach-Sensoren

Manchmal ist es für die Prozesssicherheit wichtig, redundante Schwingquarz-Sensoren in der Beschichtungsanlage zu haben. Auch gibt es Fälle, in denen Sensoren aus anlagenbedingten Gründen nur in sehr großen Zeitabständen nachgeladen werden können. In wiederum anderen Fällen ist es sinnvoll, jeden Quarz nur jeweils mit demselben Material zu beschichten, um die Präzision der Messung zu steigern. Für alle diese Fälle wurden Mehrfach-Sensoren entwickelt, die es gestatten, mehrere Messquarze nacheinander bzw. abwechselnd in die Messposition zu bringen:
  • Doppel-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
  • 6fach-Sensor für die verschiebbare Montage in einer fest positionierten Durchführung, meistens im Zentrum des Substrat-Drehantriebs
  • 12fach-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
Weitere Informationen (PDF, 654 MB)

Weitere Informationen (PDF, 1,3 MB)

Weitere Informationen (PDF, 591 MB)

Weitere Informationen (PDF, 740 KB)


Spezielle Sensoren

Für besondere Messumgebungen:
  • Sputtersensor mit eingebautem Deflektor für energetische Elektronen, optimiert für Plasmaprozesse allgemein, speziell jedoch für Sputterprozesse
  • ALD-Sensor für Temperaturen bis zu 450 °C und den Einsatz in einer rauen Umgebung
Weitere Informationen (PDF, 552 KB)

Weitere Informationen (PDF, 515 KB)

UHV Durchführungen (DN40CF)





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