Die Schwingquarz-Sensoren
INFICON bietet ein breites Sensorspektrum für praktisch alle vorkommenden Anwendungen an.
Standard-Sensoren
Für alle Standard-Anwendungen bietet INFICON Sensoren in unterschiedlichen Konfigurationen an:
- Sensoren ohne Durchführung, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- Sensoren mit Durchführung, Länge einstellbar, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- auch mit Blende
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UHV-Sensoren
Für Anwendungen, bei denen es auf niedrigste Drücke oder höchste Sauberkeit ankommt, bietet INFICON Sensoren in UHV- Ausführung an:
- Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- einige Modelle vor der Endmontage in der Länge einstellbar
- auf Flansch DN40CF
- auch mit Blende
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Spezielle Sensoren
Für vom Standard abweichende Messumgebungen bietet INFICON zwei spezielle Sensoren an:
- den Sputtersensor mit eingebautem Deflektor für energetische Elektronen, der für Plasmaprozesse allgemein, speziell jedoch für Sputterprozesse, optimiert wurde
- den Spiralsensor, dessen Position durch die spiralförmig aufgewickelten Wasserleitungen auch nachträglich noch verändert werden kann
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Mehrfach-Sensoren
Manchmal ist es für die Prozesssicherheit wichtig, redundante Schwingquarz-Sensoren in der Beschichtungsanlage zu haben. Auch gibt es Fälle, in denen Sensoren aus anlagenbedingten Gründen nur in sehr großen Zeitabständen nachgeladen werden können. In wiederum anderen Fällen ist es sinnvoll, jeden Quarz nur jeweils mit demselben Material zu beschichten, um die Präzision der Messung zu steigern.
Für alle diese Fälle wurden Mehrfach-Sensoren entwickelt, die es gestatten, mehrere Messquarze nacheinander bzw. abwechselnd in die Messposition zu bringen:
- Doppel-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
- 6fach-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
- 6fach-Sensor für die verschiebbare Montage in einer fest positionierten Durchführung, meistens im Zentrum des Substrat-Drehantriebs
- 12fach-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
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