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Inficon - Schwingquarz Messtechnik, Schichtdicken, Raten, Beschichtungsraten, Messgerät, sensor, messkopf, Regelung, Regelgerät
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EIES-Messtechnik

Bei der EIES-Messmethode (Electron Impact Emission Spectroscopy, Elektronenstoß-Emissionsspektroskopie) wird ein ausgeblendeter kleiner Teil des Dampfstroms im Sensor elektronisch angeregt und das daraufhin emittierte, für das Dampfmaterial charakteristische, Licht gemessen. Dieses Licht wird vom Sensor über einen geeigneten Lichtleiter aus der Anlage heraus in einen optischen Detektor geleitet. Da die Intensität dieses Lichts der Intensität des Dampfstroms proportional ist, kann so die Rate gemessen werden.

Die EIES-Messmethode hat die Vorteile:
  • elementspezifisch, da das Emissionsleuchten in Form von Spektrallinien erfolgt, damit können einzelne Elemente auch in einer Dampfmischung erkannt werden,
  • sehr hohe Dynamik, es können sehr niedrige und sehr hohe Raten gemessen werden,
  • sehr lange Messdauer, da diese Methode nicht auf der Beschichtung einer Sensorkomponente basiert
Damit ergänzt die EIES-Messtechnik die Schwingquarz-Messtechnik perfekt und wird bei Anwendungen eingesetzt, bei denen letztere an ihre Grenzen kommt.

Ein EIES-Messsystem besteht aus dem EIES-Sensor, dem Lichtleiter, der Durchführung, dem optischen Sensor und dem Steuergerät.

EIES-Sensor EIES-Sensoren Neben dem Standard-Sensor wird auch ein Doppelsensor angeboten, der die Kompensation eines störenden Restgas-Hintergrunds ermöglicht. EIES-Sensor


Lichtleiter
Neben dem längenverstellbaren Standard-Lichtrohr werden auch Faserlichtleiter und Quarzstäbe angeboten, die eine geringe Dämpfung besitzen. Diese Lichtleiter werden in Fällen eingesetzt, in denen entweder die Sensormontage mit dem starren Lichtrohr Schwierigkeiten bereitet, oder aber die Intensität der gewünschten Emissionslinie zu gering ist.

Durchführung
Alle Sensoren werden auf einer DN40CF Durchführung montiert,
die auch die Kontakte für die Filamentanschlüsse trägt.


optischer Detektor
Der optische Detektor kombiniert einen SEV/Photomultiplier und ein Linienfilter.
An Stelle des Filters kann auch ein Monochromator eingesetzt werden.


Guardian IV
Der Guardian IV wird in zwei Versionen für ein und zwei EIES-Sensoren angeboten. Jedes Gerät kann bis zu 8 optische Detektoren auslesen. Zum Betrieb jedes Guardian ist ein PC erforderlich.
Guardian IV


Eigenschaften:
  • elementspezifische Messung, auch in Dampfgemischen,
  • Ratenmessung im Bereich ca. 0,1 - 10.000 Å/s,
  • sehr lange Messdauer (typisch 1000 h) bevor der Sensor gewartet werden muss, dies geschieht in der Regel durch Reinigung und den Austausch der Emittereinheit,
  • bis zu 8 optische Messkanäle,
  • Linienauswahl durch Linienfilter oder Monochromator,
  • simultane Regelung von bis zu 8 Quellen,
Weitere Informationen (PDF, 71 KB)




JCM ist Mitglied der
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Dünne Schichten e.V.

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