Raten-/Schichtdicken-Messtechnik
Die Firma INFICON bietet nunmehr, nach der Integration der Produktpaletten von MAXTEK und SIGMA Instruments, ein komplettes Geräteprogramm zur Messung von Beschichtungsraten und Schichtdicken für die Vakuum-Beschichtungstechnik an. Dieses Programm umfasst Sensoren und Monitore/Regelgeräte für praktisch alle gängigen Beschichtungsprozesse und -Verfahren.
In den meisten Fällen wird die Schwingquarz-Technik als langbewährte und preiswerte Methode die richtige Wahl sein.
Allerdings gibt es immer wieder Fälle, in denen sehr hohe oder sehr niedrige Raten, oder auch sehr lange Prozessdauern, eine andere Messmethode erfordern. Hier kann meistens die EIES-Messtechnik eingesetzt werden.
Schwingquarz-Messtechnik
Mit der Schwingquarz-Messtechnik wird die Massenzunahme eines dem Dampf ausgesetzten Quarzplättchens gemessen und auf die tatsächliche Schichtdicke auf dem Substrat kalibriert. Diese Technik ermöglicht damit die In-Situ-Messung der Schichtdicke und der Aufwachsrate während der Beschichtung. Diese seit Jahrzehnten eingesetzte und damit ausgereifte und zuverlässige Messtechnik eignet sich ür die meisten modernen Beschichtungsprozesse wie PVD und CVD.
Das Programm der Firmen INFICON bietet für praktisch alle Anwendungen das richtige Gerät in Verbindung mit dem richtigen Sensor.
Die Mess- und Regelgeräte
Ein Schwingquarz-Messsystem besteht aus einem Sensor und einem Anzeige-/Regelgerät. Der Typ des Sensors richtet sich nach der geplanten Anlagenumgebung und den Prozessbedingungen. Das Geräte-Spektrum umfasst Raten-/Schichtdicken-Monitore sowie ein- und mehrkanalige Raten-Regelgeräte mit unterschiedlichen Spezifikationen.
Zu jedem Gerät, mit Ausnahme des Q-pod®, gehört als fester Bestandteil des Messsystems ein angepasster Oszillator.
Nachstehend werden einige der Geräte beschrieben:
Q-pod®
Der Q-Pod ist mit das kompakteste und preiswerteste Gerät zur Messung von Raten und Schichtdicken.
Für die Messung werden außer dem Q-pod nur noch ein Sensor und ein PC benötigt. Der Q-pod wird über ein USB-Kabel an den PC angeschlossen.
Die mitgelieferte Software erlaubt den Betrieb von maximal 8 Q-pods.
Eigenschaften:
- kompakt und äußerst preiswert,
- einfachste Bedienung
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SQM-160
Der Raten-/Schichtdicken-Monitor SQM-160 bietet 2 Messkanäle und kann optional auf 6 Kanäle aufgerüstet werden.
Als weitere Optionen stehen eine Version mit erhöhter Auflösung, zusätzliche Kommunikationsmöglichkeiten sowie Einbausätze für ein oder zwei Geräte zur Verfügung.
Eigenschaften:
- 2 Messkanäle,
- optional mit erhöhter Auflösung
- RS232 Standard, USB und Ethernet als Option
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SQC-310 und SQC-310c
Das kompakte Raten-/Schichtdicken-Regelgerät SQC-310 kann in der Grundversion zwei Schwingquarz-Sensoren auslesen und zwei Beschichtungsquellen sequenziell regeln. Zwei weitere Kanäle können nachgerüstet werden.
Das SQC-310c bietet, bei identischen technischen Daten, jeweils 4 Mess- und Regelkanäle, die simultan betrieben werden können.
Das SQC-310 und das SQC-310c gibt es als Tischgerät, oder aber mit 19''-Einbausätzen für ein oder zwei Geräte.
Eigenschaften:
- kompaktes und preiswertes Ratenregelgerät
- mehrkanalig, sequenzielle (SQC-310) oder simultane (SQC-310c) Regelung zweier Kanäle
- RS232, USB oder Ethernet optional
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XTC/3S und XTC3M
Das kompakte Raten-/Schichtdicken-Regelgerät XTC/3 kann neben der Messung und Regelung von Beschichtungsrate und Schichtdicke auch zur Steuerung von Beschichtungsprozessen benutzt werden. Das Gerät ist in zwei Ausführungen erhältlich, als XTC/3S für Einzelschichtsysteme und als XTC/3M für Mehrfachschichtsysteme.
Das XTC/3 gibt es als Tischgerät, oder mit 19''-Einbausätzen für ein oder zwei Geräte.
Eigenschaften:
- durch ModeLock®-Verfahren hohe Mess- und Regelgenauigkeit und hohe Quarz-Ausnutzung
- 2 Messkanäle, alternativ als Regelkanäle anwählbar, mit diesen können zwei Quellen alternativ geregelt werden
- RS232 Standard, Ethernet optional
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