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Inficon - Schwingquarz Messtechnik, Schichtdicken, Raten, Beschichtungsraten, Messgerät, sensor, messkopf, Regelung, Regelgerät
http://www.inficon.de


Raten-/Schichtdicken-Messtechnik

Die Firma INFICON bietet ein komplettes Geräteprogramm zur Messung von Beschichtungsraten und Schichtdicken für die Vakuum-Beschichtungstechnik an. Dieses Programm umfasst Sensoren und Monitore/Regelgeräte für praktisch alle gängigen Beschichtungsprozesse und -Verfahren. In den meisten Fällen wird die Schwingquarz-Technik als seit langer Zeit bewährte und preiswerte Methode die richtige Wahl sein. Allerdings gibt es immer wieder Fälle, in denen sehr hohe oder sehr niedrige Raten, oder auch sehr lange Prozessdauern, eine andere Messmethode erfordern. Hier kann meistens die EIES-Messtechnik eingesetzt werden.

Schwingquarz-Messtechnik

Mit der Schwingquarz-Messtechnik wird die Massenzunahme eines dem Dampf ausgesetzten Quarzplättchens gemessen und auf die tatsächliche Schichtdicke auf dem Substrat kalibriert. Diese Technik ermöglicht damit die In-Situ-Messung der Schichtdicke und der Aufwachsrate während der Beschichtung.Diese ausgereifte und zuverlässige Messtechnik eignet sich für die meisten modernen Beschichtungsprozesse wie PVD, CVD, ALD und MBE. Das Programm der Firmen INFICON bietet für praktisch alle Anwendungen das richtige Gerät in Verbindung mit dem richtigen Sensor.

Die Mess- und Regelgeräte

Ein Schwingquarz-Messsystem besteht aus einem Sensor und einem Anzeige-/Regelgerät. Der Typ des Sensors richtet sich nach der Anlagenumgebung und den Prozessbedingungen. Das Geräte-Spektrum umfasst Raten-/Schichtdicken-Monitore sowie ein- und mehrkanalige Raten-Regelgeräte mit unterschiedlichen Spezifikationen.
Zu jedem Gerät, mit Ausnahme des STM-2®, gehört als fester Bestandteil des Messsystems ein angepasster Oszillator.

Nachstehend werden die Geräte beschrieben:

STM-2

Eigenschaften:
  • 1 Messkanal, bis zu 8 STM-2 an einem PC
  • LabVIEW und Windows Software
  • USB Schnittstelle
  • Codeposition Überwachungsfunktion
  • Eingebauter Oszillator
  • PC erforderlich

Geeignet für Einzel-Sensoren ohne Blende

Weitere Informationen (PDF, 690 KB)
STM-2


SQM-160

Eigenschaften:
  • 2 Messkanäle (optional 6)
  • optional mit erhöhter Auflösung
  • RS232 Standard, USB und Ethernet als Option
  • Windows Software

Geeignet für Einzel- und Doppel-Sensoren mit/ohne Blende

Weitere Informationen (PDF, 728 KB)
SQM-160


STM-2XM

Eigenschaften:
  • 2 Messkanäle
  • LabVIEW Software
  • Codeposition Überwachungsfunktion

Geeignet für Einzel- und Doppel-Sensoren mit/ohne Blende

Weitere Informationen (PDF, 540 KB)
STM-2XM


IQM-233

Eigenschaften:
  • 3 Messkanäle, 3 Regelkanäle
    (bis zu 6 Mess- und Regelkanäle in Verbindung mit optionaler IQM-233 + IQS233)
  • PCI Express Schnittstelle
  • Codeposition Regelfunktion
  • Windows basierte Software
  • Optionale IQS-233 Co-Deposition Software

Geeignet für Einzel- und Doppel-Schwingquarz Sensoren mit/ohne Blende
(Blenden Betätigung nur in Verbindung mit der optionalen IQS-233 Software)

Weitere Informationen (PDF, 650 KB)
IQM-233


SQM-310 und SQC-310C

Eigenschaften:
  • 2 Messkanäle (optional 4), 2 Regelkanäle (optional 4)(SQC-310C je 4)
  • Windows Software
  • RS232 + USB Schnittstelle (optional RS232 + Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion nur bei SQC-310C

Geeignet für Einzel- Doppel und Mehrfachsensoren
(Position Feedback bei Mehrfachsensoren nicht möglich)

Weitere Informationen (PDF, 828 KB)
SQM-310 und SQC-310C


XTC/3S und XTC3M

Eigenschaften:
  • ModeLock Technologie
  • je 2 Mess/Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Windows Software

Geeignet für Einzel-, Doppel und Mehrfachsensoren

Weitere Informationen (PDF, 692 KB)
XTC/3S und XTC3M


IC/6

Eigenschaften:
  • ModeLock Technologie
  • Auto Z-Funktion
  • 2 Messkanäle (optional bis zu 8), bis zu 6 Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion


Weitere Informationen (PDF, 1,5 MB)
IC/6


Cygnus 2

Eigenschaften:
  • ModeLock Technologie
  • Auto Z-Funktion
  • 2 Messkanäle (optional bis zu 6), bis zu 6 Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion

Geeignet für Einzel- Doppel und Mehrfachsensoren
(Position Feedback bei Mehrfachsensoren nicht möglich)

Weitere Informationen (PDF, 2,2 MB)
Cygnus 2


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