PBS Plasmastrahl-Quellen
Bei den filamentlosen Plasmastrahl-Quellen der PBS Serie wird die Hochfrequenz-Energie (27,12 MHz)
kapazitiv eingekoppelt. Durch diese spezielle Art der Plasma-Anregung in Verbindung mit der
Quellengeometrie werden aus dem Wolfram-Netz über der Öffnung nicht nur Ionen des Betriebsgases,
sondern auch Elektronen extrahiert, sodass ein insgesamt neutraler Plasmastrahl entsteht.
Damit hat dieses Quellenkonzept die Vorteile:
- neutraler Plasmastrahl
- hohe (Äquivalent-) Strahlstromdichten
- keine Aufladungen in der Anlage
- keine Raumladungsprobleme (Strahlaufweitung)
- kompatibel mit fast allen Gasen
- sehr lange Standzeiten, da kein Austausch von Verschleißteilen notwendig
- niedrige Betriebskosten
 
Die PBS Plasmastrahl-Quellen sind mit rundem und rechteckigem Strahlquerschnitt erhältlich.
Das Standardmodell PBS180 z. B. besitzt die folgenden technischen Daten:
- Strahldurchmesser (Extraktionsgitter)
| 11 cm |
| ca.50 eV - 1000 eV, muß werksseitig voreingestellt werden |
- maximale (äquivalente) Stromdichte:
| ca. 1,2 mA/cm2,abh. von Gas und Betriebsparametern |
| max. 1,5 kW |
- Wolfram-Extraktionsnetz mit Permanent-Spannmechanismus
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- Standard-Flansch DN200CF, andere Flansche als Option
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Der Standard-Lieferumfang der PBS Plasmastrahl-Quellen umfasst neben der eigentlichen Quelle
auch das HF-Anpass-Netzwerk, welches auf die Quelle aufgesteckt wird, sowie die Versorgungsplatte,
auf der die Gasversorgungs-Komponenten angeordnet sind.
Weiterhin sind natürlich die passenden HF-Generatoren (600 W - 1,5 kW) sowie die DC Netzteile für
die Magnetspulen (Plasmaeinschluss) erhältlich.
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