JCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, ParyleneJCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, Parylene
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PBS Plasmastrahl-Quellen

Bei den filamentlosen Plasmastrahl-Quellen der PBS Serie wird die Hochfrequenz-Energie (27,12 MHz) kapazitiv eingekoppelt. Durch diese spezielle Art der Plasma-Anregung in Verbindung mit der Quellengeometrie werden aus dem Wolfram-Netz über der Öffnung nicht nur Ionen des Betriebsgases, sondern auch Elektronen extrahiert, sodass ein insgesamt neutraler Plasmastrahl entsteht.

Damit hat dieses Quellenkonzept die Vorteile:
  • neutraler Plasmastrahl
  • hohe (Äquivalent-) Strahlstromdichten
  • keine Aufladungen in der Anlage
  • keine Raumladungsprobleme (Strahlaufweitung)
  • kompatibel mit fast allen Gasen
  • sehr lange Standzeiten, da kein Austausch von Verschleißteilen notwendig
  • niedrige Betriebskosten

       


Die PBS Plasmastrahl-Quellen sind mit rundem und rechteckigem Strahlquerschnitt erhältlich.
Das Standardmodell PBS180 z. B. besitzt die folgenden technischen Daten:

  • Strahldurchmesser (Extraktionsgitter)
11 cm
  • Energiebereich
ca.50 eV - 1000 eV, muß werksseitig voreingestellt werden
  • maximale (äquivalente) Stromdichte:
ca. 1,2 mA/cm2,abh. von Gas und Betriebsparametern
  • HF-Leistung (27,12 MHz)
max. 1,5 kW
  • Wolfram-Extraktionsnetz mit Permanent-Spannmechanismus
  • wassergekühltes Gehäuse
  • Standard-Flansch DN200CF, andere Flansche als Option


Der Standard-Lieferumfang der PBS Plasmastrahl-Quellen umfasst neben der eigentlichen Quelle auch das HF-Anpass-Netzwerk, welches auf die Quelle aufgesteckt wird, sowie die Versorgungsplatte, auf der die Gasversorgungs-Komponenten angeordnet sind.
Weiterhin sind natürlich die passenden HF-Generatoren (600 W - 1,5 kW) sowie die DC Netzteile für die Magnetspulen (Plasmaeinschluss) erhältlich.

JCM ist Mitglied der
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