JCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, ParyleneJCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, Parylene
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WRS Ionenstrahl-Quellen

Bei den filamentlosen Ionenstrahl-Quellen der WRS Serie wird die Hochfrequenz-Energie (27,12 MHz) induktiv eingekoppelt. Durch die spezielle Geometrie der Einkoppelspule in Verbindung mit einem zusätzlichen transversalen Magnetfeld wird das Plasma in die sogenannte Elektron-Zyklotron-Wellenresonanz (ECWR) gebracht. Diese Resonanz ermöglicht sehr hohe Plasmadichten und damit sehr hohe extrahierbare Ionenströme.
Durch die induktive Einkopplung der HF-Leistung in das Plasma kann der elektrodenfreie Plasmaraum komplett nichtleitend sein. Das Plasmagefäß kann daher aus Glas oder aber einer zum Prozessgas passenden Keramik bestehen. Damit werden die Verunreinigungen durch die Erosion von Komponenten der Ionenquelle minimal.
Zur Extraktion der Ionen aus dem Plasma dient ein System hintereinander geschalteter Lochblenden. Dieses Extraktionsgittersystem besteht in der Regel aus 3 Gittern. Ein solches "Accel-Decel"- System ermöglicht die Extraktion besonders hoher Ionenströme in Verbindung mit einer sehr guten Energieschärfe der Ionen.

Dieses Quellenkonzept hat die Vorteile:
  • hohe Plasmadichten
  • hohe Strahlstromdichten
  • kompatibel mit praktisch allen Gasen
  • minimale Verunreinigung durch Quellenmaterialien
  • sehr lange Standzeiten, da kein Austausch von Verschleißteilen notwendig
  • niedrige Betriebskosten

Die WRS Ionenstrahl-Quellen sind mit rundem und rechteckigem Strahlquerschnitt erhältlich.
Das Standardmodell WRS250 z. B. besitzt die folgenden technischen Daten:

  • Strahldurchmesser (Extraktionsgitter)
cm
  • Energiebereich
ca.50 eV - 2000 eV, muß werksseitig voreingestellt werden
  • maximale (äquivalente) Stromdichte:
ca. 2 mA/cm2,abh. von Gas und Betriebsparametern
  • HF-Leistung (27,12 MHz)
max.1,5 kW
  • Wolfram-Extraktionsnetz
  • wassergekühltes Gehäuse
  • Standard-Flansch DN250CF, andere Flansche als Option


Der Standard-Lieferumfang der WRS Ionenstrahl-Quellen umfasst neben der eigentlichen Quelle auch das HF-Anpass-Netzwerk, welches auf die Quelle aufgesteckt wird, sowie die Versorgungsplatte, auf der die Gasversorgungs-Komponenten angeordnet sind.
Weiterhin sind natürlich die passenden HF-Generatoren (600 W - 1,5 kW) sowie die DC Netzteile für die Magnetspulen erhältlich.

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