Faraday-Auffänger zur Strahlanalyse
Für die Prozessentwicklung und die Anlagen- und Geometrieoptimierung bei Prozessen mit Plasma- und
Ionenstrahlquellen ist die Messung der Strahlparameter oft unumgänglich. Dies bezieht sich vor
allem auf die Strahlprofile als Funktion der Betriebsparameter und des Abstandes von der Quelle
und auf die Energieverteilung im Strahl.
Um dem Anwender eine einfache Möglichkeit zur Messung dieser Parameter an die Hand zu geben,
bietet IPT einen geeigneten Faraday-Auffänger an. In der Standard-Ausführung wird dieser fertig
verdrahtet in Verbindung mit einem Flansch DN40KF für die beiden nötigen BNC-Durchführungen
geliefert.
Weiterhin bietet IPT auch das für die Messung erforderliche Messgerät sowie Netzteile für die
Gegenspannung und die für die Sekundärelektronen-Unterdrückung nötige Spannung an.
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