JCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, ParyleneJCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, Parylene
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Faraday-Auffänger zur Strahlanalyse

Für die Prozessentwicklung und die Anlagen- und Geometrieoptimierung bei Prozessen mit Plasma- und Ionenstrahlquellen ist die Messung der Strahlparameter oft unumgänglich. Dies bezieht sich vor allem auf die Strahlprofile als Funktion der Betriebsparameter und des Abstandes von der Quelle und auf die Energieverteilung im Strahl.
Um dem Anwender eine einfache Möglichkeit zur Messung dieser Parameter an die Hand zu geben, bietet IPT einen geeigneten Faraday-Auffänger an. In der Standard-Ausführung wird dieser fertig verdrahtet in Verbindung mit einem Flansch DN40KF für die beiden nötigen BNC-Durchführungen geliefert.

Weiterhin bietet IPT auch das für die Messung erforderliche Messgerät sowie Netzteile für die Gegenspannung und die für die Sekundärelektronen-Unterdrückung nötige Spannung an.



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