Plasmaquellen und Ionenquellen
Zahlreiche Dünnschicht-Prozesse erfordern heute den Einsatz mehr oder weniger grossflächiger Ionenquellen und Plasmaquellen, da die Anforderungen an die Schichteigenschaften kontinuierlich steigen und sich mit den konventionellen Apparaturen nur noch schwer oder gar nicht mehr erreichen lassen.
Typische Beispiele für solche Prozesse sind:
- In-Situ-Reinigung und Präparation von Oberflöchen vor Beschichtungen
- Ätzen von Strukturen (IBE, RIBE) in der Mikroelektronik und der Mikrostrukturtechnik
- Nanopolieren von Oberflächen, z. B. optischer Komponenten
- Ionenstrahl-Sputtern (IBS) für höchste Schichtqualität, z. B. für optische Komponenten von Hochleistungslasern
- Abscheidung aus der Gasphase (PE-CVD), z. B. von hartem Kohlenstoff, für Anwendungen aus den Bereichen der IR-Optik, der Datenspeicher und der Tribologie
- Ionenunterstützte Beschichtung (IAD, IBAD), z. B. für die Optik
- Oberflöchennahe Ionenimplantation, z. B. in der Mikroelektronik und der Tribologie
Für diese Prozesse werden sowohl reaktive Gase, wie z. B. Oxide, Fluoride und Chloride, als auch
inerte Gase benötigt. Die für diese Prozesse benutzten Ionen- und Plasmaquellen müssen daher mit
diesen Gasen kompatibel sein.
Die Firma IPT stellt zwei komplementäre Baureihen grossflächiger Strahlquellen her:
Plasmastrahl-Quellen der PBS-Baureihe
Die PBS-Quellen liefern einen niederenergetischen, stromstarken und selbstneutralisierten
Plasmastrahl. Dieser kann, je nach Geometrie des Extraktionsnetzes, divergent, kollimiert, oder
konvergent sein. Die PBS-Quellen sind mit fast allen Gasen, vor allem auch reaktiven, betreibbar.
Ionenstrahl-Quellen der WRS-Baureihe
Die IBS-Quellen liefern einen nahezu monoenergetischen Ionenstrahl hoher Stromdichte. Die
Strahlenergie lässt sich innerhalb weiter Grenzen verstellen und damit vielfältigen Anwendungen
anpassen.
Darüber hinaus liefert IPT einen
Faraday-Auffänger für die Strahlanalyse,
um Nutzern von Plasma- oder Ionenquellen die Möglichkeit zu geben, das radiale Strahlprofil oder
die Energieverteilung zu messen und zu optimieren.
Diese Sonden werden einzeln oder in Mehrfach-Anordnung geliefert, auf Wunsch auch mit den
notwendigen Stromversorgungen.
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