JCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, ParyleneJCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, Parylene
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Kryopumpen

Typ Flanschgrösse Saugvermögen in l/s Masse in kg Höhe/Länge in mm
    N2 Ar H2O H2    
Coolstar 400 DN 100 ISO-K 350 275 1210 495 6 324
DN 100 CF 350 275 1210 495 6 324
Coolstar 800 DN 160 ISO-K 800 640 2915 1155 8 324
DN 160 CF 800 640 2915 1155 8 324
Coolstar 1500 DN 200 ISO-K 1500 1200 4500 2500 16 413
DN 200 CF 1500 1200 4500 2500 16 413
Coolstar 3500 DN 320 ISO-K 3500 2800 9500 4500 26 413
DN 320 CF 3500 2800 9500 4500 26 413


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