JCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, ParyleneJCM : Temperatursensoren, Kryostate, Widerstandssensoren, Thermoelemente, Displex-Kühler, Pulsröhren-Kühler, Kryopumpen, Stirling-Kühler, GM-Kühler, Öldiffusionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Katalysator-Fallen, Umlaufkühler, Ionenquellen, Beschichtungsanlagen, XTM/2, XTC/2, Plasmaquellen, Plasmastrahl-Quellen, Ionenstrahl-Quellen, Faraday-Auffänger, Magnetron-Kathoden, Rundkathoden, Rechteckkathoden, Sputter-Stromversorgungen, Parylene
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Ricor - Kühler, Kaltkopf, Gifford MacMahan, GM, Sterling, Kryokühler, Kryofalle, Kühlfalle, Wasserdampf Baffle, Waaserdamp Falle, 10 K, 77 K, Kryo-Kompressor, He-Kompressor, closed Cycle, Refrigerator http://www.ricor.com/


Tiefe Temperaturen werden heute in vielen Bereichen der Technik und der Forschung benötigt. Im Lauf der Zeit haben sich mehrere Temperaturbereiche herauskristallisiert, für die geeignete Kältemaschinen entwickelt wurden. Dies sind der LN2-Bereich bei 77 K, der 10 K-Bereich, der LH-Bereich bei 4,2 K sowie der mK-Bereich.
Die Firma RICOR bietet Kühler für 77 K und für 10 K an.


Stirling-Kühler (Anwendungen)

RICOR fertigt seit vielen Jahren Stirling-Kühler für zahlreiche Anwendungen, vor allem für kleine Sensoren und IR-Kameras. Es werden Modelle mit integriertem Kompressor und mit separatem Kompressor (Split Stirling) angeboten. Nicht zuletzt durch die hohen produzierten Stückzahlen haben die Kühler ein sehr hohes Qualitätsniveau erreicht und sind dadurch äusserst zuverlässig und langlebig.
Das neue grosse Modell K535 ist für Anwendungen gedacht, die mehr Kühlleistung verlangen. Der K535 arbeitet mit einem Doppel-Verdränger, dessen Kolben von linearen Schrittmotoren angetrieben werden und im Gegentakt laufen. Dadurch wird eine für einen Stirling-Kühler ungewöhnliche Laufruhe erreicht.
Die Minimaltemperatur des K535 beträgt etwa 40 K. Je nach Temperatur stehen bis zu 11 W Kühlleistung zur Verfügung. Mit der integrierten Elektronik in Verbindung mit einer eingebauten Silizium-Diode wird die Temperatur ohne zusätzliche Heizung geregelt. Dies geschieht durch eine geregelte Einstellung des Kolbenhubs und damit der Kühlleistung über die Schrittmotoren. Bei Bedarf kann durch entsprechende Einstellung der Verdränger die Kühlerspitze auch geheizt werden.
Die maximale Leistungsaufnahme des K535 beträgt nur 200 W. Im Betrieb fällt diese nach Erreichen der Gleichgewichtstemperatur in den meisten Fällen auf etwa 100 W. Der K535 ist wassergekühlt, kann aber auch mit einer Luftkühlung ausgerüstet werden. Die integrierte Bauweise führt zu einer effizienten Kühlung auch des Kaltkopfes.
Der K535 wird wahlweise mit DN40KF- oder mit DN35CF-Flansch angeboten und lässt sich damit problemlos an Vakuumsysteme andocken.

In Fällen in denen Vibrationen kritisch sind, kommt die Low Vibration Version des K535`s zum Einsatz.

Technische Daten
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GM-Kühler

Die Fertigung der Refrigerator-Kühler übernahm RICOR vor einiger Zeit von BOC Edwards. Mittlerweile wurden die Modelle weiter entwickelt und ergänzt. Die Kühler der CoolStar®-Serie gehören zu den kompaktesten Modellen auf dem Markt. Es stehen ein- und zweistufige Modelle mit Minimaltemperaturen <10 K und Leistungen bis 5 W (20 K) zur Verfügung. Der Displacer der CoolStar®-Kühler wird pneumatisch angetrieben, was die Mechanik einfach, langlebig und zuverlässig macht. Als Ventilantrieb wird ein Schrittmotor verwendet, dessen Geschwindigkeit über den Kompressor einstellbar ist.
Die Cryodrive®-Kompressoren sind kompakt und leise. Ihre integrierte Regelelektronik ermöglicht in der Abkühlphase eine erhöhte Ventildrehzahl des Kaltkopfes und dadurch eine höhere Kühlleistung mit entsprechend verringerter Abkühlzeit. Bei geringer benötigter Kühlleistung kann die Displacerfrequenz verringert werden, was die Vibrationen und natürlich den Verschleiss entsprechend vermindert.
Wir bieten natürlich den technischen Service für die CoolStar®-Kaltköpfe und Cryodrive®-Kompressoren sowie für die älteren Edwards-Modelle.

Technische Daten


Abgeleitet aus den GM-Kühlern wird der Pulsröhren-Kühler PTC501 angeboten. Dieser hat eine Kühlleistung von ca. 8 W bei 80 K bei vergleichsweise geringer Orientierungs-Abhängigkeit. Durch das Fehlen mechanisch bewegter Teile läuft der Kaltkopf vibrationsfrei und ist damit bestens für sensible Anwendungen geeignet. Der PTC501 kann mit allen Cryodrive®-Kompressoren betrieben werden. Seine Dimensionen entsprechen denen des CoolStar® 2/9, damit sind die beiden Kaltköpfe direkt austauschbar. Ricor - Kühler, Kaltkopf, Gifford MacMahan, GM, Sterling, Kryokühler, Kryofalle, Kühlfalle, Wasserdampf Baffle, Waaserdamp Falle, 10 K, 77 K, Kryo-Kompressor, He-Kompressor, closed Cycle, Refrigerator


MicroStar®

Auf der Basis der ausgereiften und langlebigen RICOR Stirling-Kühler wird die Wasserdampf-Falle MicroStar® angeboten. Sie kommt überall dort zum Einsatz, wo z. B. durch regelmässiges Fluten der Wasserdampf-Partialdruck ein Problem darstellt (Batchanlagen, Schleusenkammern) und ermöglicht kürzere Abpumpzeiten und ein besseres Endvakuum. Bei einer Leistungsaufnahme < 200 W bietet sie in den Nennweiten 100 mm, 160 mm, 200 mm und 250 mm ein hohes Wasserdampf-Saugvermögen und ist vor allem für den Einsatz in Kombination mit einer Turbopumpe gedacht, um deren beschränktes H2O-Saugvermögen zu kompensieren. Durch die hohe Transparenz/Leitwert des Baffles wird die Saugcharakteristik der Turbopumpe nur unwesentlich verändert.
Die integrierte Regelelektronik erlaubt eine einfache Temperaturregelung sowie eine schnelle Heizung im Falle einer nötigen Regenerierung. Über die mitgelieferte Software können die Parameter vom Anwender seinen Wünschen entsprechend eingestellt werden.

Technische Daten


Kryopumpen

Kryopumpen werden überall dort benutzt, wo es auf ein sehr gutes und ölfreies Vakuum ankommt und ein niedriger Wasserdampf-Partialdruck wichtig ist. Die Kryopumpen Coolstar 400, 800, 1500 und 3200 sind saugstarke Kryopumpen, die mit einem leistungsstarken Kaltkopf ausgestattet sind. Ihre kompakte Bauart und eine schnelle Abkühlzeit sorgen für ein gutes Preis-/Leistungsverhältnis.

Technische Daten
Ricor - Kühler, Kaltkopf, Gifford MacMahan, GM, Sterling, Kryokühler, Kryofalle, Kühlfalle, Wasserdampf Baffle, Waaserdamp Falle, 10 K, 77 K, Kryo-Kompressor, He-Kompressor, closed Cycle, Refrigerator


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Dünne Schichten e.V.

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