http://www.scisys.com Plasmadiagnose Heutzutage nutzen viele Produktionsanlagen Plasmen unterschiedlicher Natur. Bei der Entwicklung dieser Anlagen und auch während ihres Betriebes ist es wichtig, die verschiedenen Plasma-Parameter möglichst genau zu kennen. SMART PROBE: Die Smart Probe ist eine intelligente Langmuirsonde, die zur Charakterisierung von DC- und HF- Plasmen dient. Sie ist speziell für grundsätzliche Untersuchungen, z.B. bei der Entwicklung von Plasmaanlagen, sehr gut geeignet. Mit Hilfe der hochentwickelten, umfangreichen Software kann der Anwender innerhalb kurzer Zeit die wichtigsten Plasma-Parameter bestimmen. Durch die kurzen Akquisitionszeiten sind Serienmessungen zur Untersuchung von Parameterabhängigkeiten problemlos möglich. Mit Hilfe des Auto-Linear-Drive (ALD) können Plasmen auch ortsabhängig automatisiert untersucht werden.

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