Sigma <META NAME="description" CONTENT="Sigma Physik"> <META NAME="keywords" CONTENT="Sigma Physik"> <meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1"> <meta name="Content-Language" content="de"> <meta name="revisit-after" content="10 days"> <meta name="copyright" content="Jürgen Christian Müller, Frankfurt"> <meta name="author" content="Stefan-Michael Günther, in-put GbR"> <meta name="page-topic" content="Sigma Physik"> <meta name="robots" content="INDEX, FOLLOW"> <META NAME="Abstract" CONTENT="Sigma Physik"> <META NAME="Language" CONTENT="Deutsch, German"> <meta name="DC.Title" content="Sigma Physik"> <meta name="DC.Creator" content="Stefan-Michael Günther"> <meta name="DC.Publisher" content="Dr. Jürgen Müller"> <meta name="DC.Contributors" content="Dr. Jürgen Müller"> <meta name="DC.Coverage.PlaceName" content="Karlsruhe, Frankfurt am Main"> <meta name="DC.Subject" content="Sigma Physik"> <meta name="DC.Description" content="Sigma Physik"> <link rel=stylesheet type="text/css" href="formate.css"> <script language="Javascript" src="http://www.jcmueller.de/js/email.js"></Script> <body bgcolor="#a7d9fe"> <a href="http://www.schmuck-hautnah.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.schmuck-zeiten.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.in-put.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.prolinux.net/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.linux-faxserver.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> </center> <blockquote> <script type="text/javascript" src="js/dropdown.js"></script> <center> <table width="800" border="0"> <tr><td width="170"></td> <td width="460" align="center"><img src="images/jcm-header.jpg"></td><td valign="bottom" width="170"><img src="http://www.jcmueller.de/images/caution.gif"></td></tr> </table><br> <table background="images/schaltflaeche_ohne_rand.gif" width="800" height="10" border="0"> <tr> <td valign="top" width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/index1.html">Home</a></td> <td valign="top" width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/jcm_v.php">Über uns</a></td> <td valign="top" width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/aktuelles_v.php">Referenzen</a> </td> <td valign=top width="100" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/messe-einblicke_v_2010.php">Messe Termine</a></td> <td width="80" valign="top" align="left"> <div id="sample_attach_menu_parent"> Produkte</div> <div id="sample_attach_menu_child"> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/inficon_v.php">· Schwingquarz-Messtechnik</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/inficon3_v.php">· EIES-Messtechnik</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/aufbau.php">· Magnetron-Sputterkathoden</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/jcm_materialien.php">· Sputter-Targets</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/jcm_materialien.php">· Verdampfungsmaterial</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/jcm_materialien.php">· Verdampfer-Zubehör</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/indium.php">· NanoBond-Verfahren</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/ipt_v.php">· Ionenquellen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/mia200.php">· Kleine Beschichtungsanlagen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/telemark_v.php">· Kältemaschinen für Meissnerfallen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/cryogenics2v.php">· Kryopumpen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/cryogenics_v.php">· Gifford-McMahon-Kühler</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/cryogenics_v.php">· Pulsröhren-Kühler</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/hsr-kyrotechnik2_v.php">· Grosse Kryopumpen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/hsr-kyrotechnik3_v.php">· Öl-Diffusionspumpen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/hsr-kyrotechnik4_v.php">· Ti-Sublimationspumpen </a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/hsr-kyrotechnik3_v.php#1">· Baffles</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/aufbau.php">· Verbrauchsmaterial für Diffusionspumpen und Ti-Sublimationspumpen</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/ricor_v.php">· Stirling-Kühler<br>· Wasserdampf-Fallen / Baffles</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/scientific-instruments_v.php">· Tieftemperatur-Messgeräte<br>· Tieftemperatursensoren</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/aufbau.php">· Messgerät für mechanische Spannungen in dünnen Schichten</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/scientific_systems_v.php">· Langmuir-Sonde für die Plasmadiagnostik</a> <a class="sample_attach" href="http://www.jcmueller.de/cyrogenic_v.php">· Supraleitende Magnetsysteme</a> </div> <script type="text/javascript">at_attach("sample_attach_menu_parent", "sample_attach_menu_child", "hover", "y", "pointer");</script> </td> <td valign=top width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/wartungen_v.php">Wartung+Reparatur</a></td> <td valign=top width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/kontakt_v.php">Kontakt</a></td> <td valign=top width="80" align="left"><div id="sample_attach_menu_parent2"> Angebot</div> <div id="sample_attach_menu_child2"> <a class="sample_attach2" href="http://www.jcmueller.de/sonderangebote.php">· Sonderangebote</a> <a class="sample_attach2" href="http://www.jcmueller.de/gebrauchte-Komponenten.php">· gebrauchte Komponenten</a> </div> <script type="text/javascript">at_attach("sample_attach_menu_parent2", "sample_attach_menu_child2", "hover", "y", "pointer");</script></td> <td valign=top width="80" align="center"><a href="http://www.jcmueller.de/shop" target="_blank">Shop</a></td> </tr> </table></center> <br><br> <center> <table width=900> <tr> <td align=center><a href="http://www.sigma-physik.de/" target="_blank"> <img src=images/sigma_blau.jpg border=0 ALT="Sigma Physik"></a> <a href="http://www.sigma-physik.de/" target="_blank">http://www.sigma-physik.de/</a></td></tr> </table><br><br> <table width=900><tr><td> <b>SIG-500SP<br><br> Messsystem zur Messung der mechanischen Spannungen in dünnen Schichten</b><br><br> <img src="images/sigma1.jpg" width="350" height="263" border=0 alt="Sigma" > </td></tr></table></center> <br><br> <center> <table width=900><tr><td valign=top> <h3>Kurzbeschreibung</h3> Das Messsystem bestimmt die mechanisch Spannung in einer dünnen Schicht aus der Verkrümmung des Substrates, auf dem sie sich befindet. Die Verkrümmung wird über die Auslenkung zweier Laserstrahlen, die von der Probe reflektiert werden bestimmt. Mit Kenntnis der mechanischen Eigenschaften (E-Modul, Poissonzahl und Dicke) des Substrates lässt sich die mechanische Spannung berechnen. </td> <td align=center></td></tr></table> <br><br> <table width=900><tr><td> <img src="images/sigma2.jpg" width="500" height="344" border=0 alt="Sigma"></td> <td valign=top> Das Gerät (40cm x 15cm x 18cm, 18kg) ist reinraumtauglich und garantiert eine hohe Messgenauigkeit (auf 150µm dicken Substraten können Spannungen in 500nm dicken Schichten mit besser als +-5MPA gemessen werden).<br><br> Der Probenwechsel ist einfach und schnell durchführbar, so dass keine Zeit für aufwendige Justagen oder Probenpositionierungen anfallen.<br> In der Produktion eignet sich das Messgerät zur Qualitätskontrolle, wo z.B. mit minimalem Aufwand bei jeder Charge ein Testsubstrat mitbeschichtet und vermessen werden kann. Mit Hilfe einer leicht verständlichen Software lassen sich die Messungen schnell und unkompliziert durchführen.<br> Sämtliche gewonnenen Daten können leicht archiviert und verwaltet werden und stehen für spätere Untersuchungen bzw. Vergleiche zur Verfügung.<br><br><a href=pdf/sigma_produktinfo_08-2009.pdf><b>weitere Produktinformationen und technische Daten (PDF,412 KB) </b></a></td></tr></table> <br><br> <table width=900><tr><td valign=top> </td></tr></table> <br><br> </center> <br><br> <table width=100% border=0> <tr> <td width="33%">JCM ist Mitglied der<br><a href="http://www.dpg-physik.de/" target="_blank">Deutschen Physikalischen Gesellschaft</a><br><a href="http://www.dpg-physik.de/" target="_blank"><img src="images/dpglogo.gif" border="0" vspace=5></a></td> <td width="33%"><table width=100% border=0> <tr> <td class=footer align=center colspan=3><img src=images/jcm_v.jpg width=60 height=25><br>Dr. Jürgen Christian Müller</td></tr> <tr> <td class=footer align=right>Zeilweg 19</td> <td rowspan=3> </td> <td class=footer align=left>D-60439 Frankfurt am Main</td></tr> <tr> <td class=footer align=right>Tel. +49-69-958101-58</td> <td align=left class=footer>Fax: +49-69-958101-68</td></tr> <tr> <td class=footer align=right><a href="javascript:info()"><img src="images/e_info_v.gif" align="absmiddle" border=0></a></td> <td class=footer align=left>USt.-ID Nr. DE155569101</td></tr> <tr><td class=footer align=center colspan=3>Design & Hosting by <a href="http://www.in-put.de/" target="_blank">in-put GbR</a></td></tr> </table></td> <td width=33% align=right> JCM ist Mitglied der<br><a href="http://www.efds.org" target="_blank">Europäische Forschungsgesellschaft<br>Dünne Schichten e.V.</a><br><a href="http://www.efds.org" target="_blank"><img src="images/efdslogo.jpg" ALT="Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V." hspace=20 vspace=5 border=0></a></td></tr> </table> <a href="http://www.schmuck-hautnah.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.schmuck-zeiten.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.in-put.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.prolinux.net/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> <a href="http://www.linux-faxserver.de/"><img src="images/0000.gif" width="0" height="1" border="0" ALT=""></a> </blockquote> </body></html>