Beim Betrieb von Vakuum-Beschichtungsanlagen sind Wasserdampf bzw. der Wasserdampf-Partialdruck oft ein Problem, weil er die Abpumpzeiten verlängert und den innerhalb einer sinnvollen Zeit erreichbaren Enddruck begrenzt. Damit hat der Wasserdampf-Partialdruck in den relevanten Anlagenkammern unmittelbaren Einfluss auf die Anlagenproduktivität. Dies gilt vor allem für Batch-Anlagen, die häufig geöffnet und damit immer wieder neuem Wasserdampf ausgesetzt werden, der an den Wänden adsorbiert wird.
Abhilfe bringt eine Erhöhung des installierten Wasserdampf-Saugvermögens. Da die häufig verwendeten Turbopumpen und Öldiffusionspumpen Wasserdampf vergleichsweise schlecht pumpen, bleibt nur der Einsatz von Kryopumpen oder anderer kalter Oberflächen, an denen das Wasser angefroren wird. Letztere werden auch als "Meißnerfallen" bezeichnet und können z. B. als Kühlschlangen, oder als gekühlte Bleche ausgeführt werden. |
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Telemark bietet seine Kühlaggregate in 4 Leistungsstufen an.
Diese sind aufgeteilt in Standard Modelle, TVP 1200 und TVP 2700 und
Premium Modelle Typ TVP 1800 und TVP 3600.
| Modell |
TVP 1200 |
TVP 2700 |
TVP 1800 |
TVP 3600 |
| max. Kälteleistung [W] |
1.200 |
2.700 |
1.800 |
3.600 |
| max. Saugvermögen für H2O [l/s] (*) |
55.000 |
165.000 |
80.000 |
230.000 |
Stromaufnahme [A]
(Abkühlen) |
30 |
80 |
30 |
85 |
(*) bei entsprechender Fläche der Meißnerfalle
Die TVP-Kühler von Telemark bieten die Vorteile:
- kurze Abkühlzeiten und schnelles Aufwärmen für kurze Beschichtungszyklen,
- effizientes Pumpen von Wasserdampf durch hohe Kälteleistung,
- ein- und zweikreisige Modelle (z. B. für Meißnerfalle und Diffusionspumpen-Baffle),
- kein umständliches und teures Stickstoff-Nachfüllen,
- kleiner "Footprint",
- Anschlüsse für die digitale und die analoge Überwachung und Steuerung im Standard-Lieferumfang,
- "Kyoto"-Kältemittel und "Standard"-Kältemittel ohne Änderungen des Kühlers verwendbar, daher sind die TVP-Kühler problemlos weltweit einsetzbar
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