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Inficon - Schwingquarz Messtechnik, Schichtdicken, Raten, Beschichtungsraten, Messgerät, sensor, messkopf, Regelung, Regelgerät
http://www.inficon.de


Vakuum-Komponenten

Raten-/Schichtdicken-Messtechnik

Inficon bietet eine umfangreiche Palette von Komponenten für die Vakuumtechnik an.
Dieses Spektrum umfasst unter anderem:

  • Vakuum-Messröhren
  • Anzeige- und Druckregelgeräte für diese Messröhren
  • Druckschaltern
  • Drehdurchführungen
  • elektrische Durchführungen
  • Flüssigkeitsdurchführungen
  • Sichtfenster
  • Vakuum-Kugellager
  • Flanschkomponenten in HV- und UHV-Ausführung (KF-, ISO- und CF-Flansche)

Vakuum-Messröhren und -Messgeräte

Für die Druckmessung unter den unterschiedlichsten Bedingungen bietet Inficon ein breites Spektrum an Drucksensoren an. Diese Sensoren erm&oml;glichen die Anpassung der Messung an Parameter wie z. B. den interessierenden Druckbereich, die Gasart und die herrschenden Prozessbedingungen, wie die Anwesenheit von Plasmen und vorhandene Verunreinigungen.

Kapazitäts-Messröhren der SKY®-Serie

Bei diesen Messröhren wird die druckabhängige Durchbiegung einer Membran kapazitiv von der Membran-Rückseite her gemessen. Dieses Konzept bietet den großen Vorteil der Trennung von Prozessraum und Sensormechanik bzw. -elektronik.
Die Messröhren der SKY®-Serie gibt es in einer großen Zahl von Varianten:
  • Totaldruckmessung (Gasart-unabhängig)
  • temperaturstabilisiert bei 24°C/45°C/100°C/160°C/200°C und damit ganz unterschiedlichen Prozessen anpassbar
  • Messbereiche mit Maximaldrücken von 0,13 mbar - 1,3 bar
  • Vakuumanschluss in KF, CF, VCR und als 1/2" Rohrstutzen
  • auch in Vollkeramik-Ausführung für reaktive bzw. korrosive Prozessumgebungen
  • Anschluss über RS232, DeviceNet oder Profibus


Bayard/Alpert-Pirani-Messröhren

Die kompakten Messröhren der BPG-Reihe, die ein Bayard-Alpert-Element (Heißkathoden-Ionisationsröhre) mit einem Pirani-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von Atmosphäre bis UHV. Sie bieten sich als einfache und wirtschaftliche Lösung zur Druckmessung in Produktions-Vakuumanlagen an.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick:
  • Messbereich 1000 mbar - ca. 5*10-10mbar
  • Bayard-Alpert-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • KF- oder CF-Flansch
  • Druckanzeige am Sensor als Option
  • Zweifach-Filament als Option


Hochdruck-Heißkathoden-Pirani-Messröhren

Die kompakten Messröhren des Typs HPG400, die ein Hochdruck-Heißkathodenionisations-Element mit einem Pirani-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von Atmosphäre bis in den unteren Hochvakuumbereich. Sie eignen sich speziell für die präzise Druckmessung im mittleren Druckbereich, wie in Sputterprozessen, wo sie ihre höchste Genauigkeit besitzen.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick:
  • Messbereich 1000 mbar - ca. 2*10-6 mbar
  • Heißkathoden-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • Druckanzeige am Sensor als Option
  • KF- oder CF-Flansch


Bayard/Alpert-Pirani-Kapazitäts-Messröhren

Die kompakten Kombinations-Messröhren des Typs BCG450, die ein Bayard-Alpert-Element mit einem Pirani-Element und einem Kapazitäts-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von moderatem Überdruck bis UHV. Sie verbinden die Breitband-Druckmessung mit der Funktion eines Druckschalters, der auch bei mäßigem Überdruck funktioniert.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick:
  • Messbereich 1,5 bar - ca. 5*10-10mbar
  • präziser Druckschaltpunkt, unabhängig von atmosphärischen Druckschwankungen
  • Bayard-Alpert-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • KF- oder CF-Flansch
  • Druckanzeige am Sensor als Option


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