Kryopumpen

Grosse Kryopumpen (500mm - 1000 mm)

In der Optik, der Elektronik und der Sensorik gibt es immer wieder Fälle, in denen Produktions-Beschichtungsanlagen besonders hohe Vakuumanforderungen erfüllen müssen. Ein niedriger Wasserdampf-Partialdruck steht hier in der Regel an erster Stelle, es kann aber auch ein niedriges Kohlenwasserstoff-Niveau wichtig sein. Diese Anforderungen sind streng nur mit Kryopumpen erfüllbar, evtl. in Kombination mit einer Meissnerfalle. Für grössere Anlagen sind oft Kryopumpen der 10.000 l/s Klasse mit 500 mm Flansch erforderlich.

Kryopumpen dieser Grösse leiden oft darunter, dass der verwendete Kaltkopf eigentlich unterdimensioniert ist. Dadurch wird die Pumpe thermisch empfindlich, was besonders bei reaktiven Prozessen mit permanenter hoher Gasbelastung durch einen entsprechenden Temperaturanstieg der zweiten Stufe deutlich wird. Auch ein kurzzeitiger Gasstoss, wie er im Produktionsalltag immer einmal auftritt, kann zu einer unzulässig hohen Temperatur führen. Normalerweise ist die höchstzulässige Temperatur der zweiten Stufe durch die Anlagensteuerung auf 20-22 K begrenzt, um eine ungewollte Freisetzung der leichtesten Gase H2 und He zu vermeiden. Eine solche ungewollte Freisetzung stellt grundsätzlich ein Risiko dar und muss daher vermieden werden. In einem solchen Fall bricht die Anlagensteuerung normalerweise den Prozss ab und ermöglicht es der Kryopumpe, ohne Gasbelastung wieder einzukühlen.

Vor kurzem brachte SHI-APD Cryogenics mit dem CH-210 einen Kaltkopf auf den Markt, der alle seine Vorgänger an Leistung übertrifft. Auf der Grundlage dieses Kaltkopfes entwickelte HSR Kryotechnik die Kryopumpen Velco-500A. Sie entsprechen in ihren äusseren Dimensionen den ehemaligen Modell RZP501 von Balzers und kann daher ohne weiteres an deren Stelle eingesetzt werden. Durch die Verwendung des leistungsstarken CH-210 Kaltkopfes weisen die Velco-Pumpen jedoch eine aussergewöhnlich thermische Stabilität auf. Damit eignen sie sich hervorragend für Fälle, in denen gemäss des oben Gesagten besondere Anforderungen an die Kryopumpe gestellt werden.

Die Velco-Pumpen sind mit einer Si-Diode für die Temperaturmessung ausgestattet. Als Option ist ein passender Temperaturmonitor mit den für die Steuerung erforderlichen zwei einstellbaren Temperatur-Triggerpunkten erhältlich. Ausserdem werden die Velco-Pumpen auf Wunsch mit einer Heizung zur schnelleren Regenerierung geliefert.

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