Öldiffusionspumpen

Kleinst-Diffusionspumpen

Für das Evakuieren kleiner Rezipienten in der Analytik, zur Erzeugung und Aufrechterhaltung von Isolations-Vakua oder andere Aufgaben, bei denen kleine Volumina zu evakuieren sind, bieten sich oft kleine Diffusionspumpen an. Sie besitzen ein gutes Saugvermögen für die meisten Gase, sind robust und preisgünstig.
Für diese Anwendungen bietet HSR ein Modell mit einem DN40ISO-K Flansch in einer wasser- und einer luftgekühlten Version an. Es besitzt ein Saugvermögen für Luft/N2 von 22 l/s.

Diffusionspumpen mit integriertem wassergekühltem Baffle

Für kleine Beschichtungsanlagen, Öfen, die Bildröhrenfertigung und Kleinpumpstände für diverse Anwendungen fertigt HSR eine Baureihe kompakter Öl-Diffusionspumpen mit den Nennweiten DN63ISO-K - DN250ISO-K. Diese Pumpen sind jeweils mit einem integrierten wassergekühlten Baffle zur Minimierung der Ölrückströmung ausgestattet und bieten dadurch den Vorteil geringer Bauhöhe. Ihre Nenn-Saugvermögen (N2), jeweils einschliesslich des integrierten Baffles, betragen 150 l/s - 1.750 l/s.

Grosse Diffusionspumpen

Grosse Aufdampfanlagen für die Optik werden in der Mehrzahl der Fälle immer noch mit Öl-Diffusionspumpen ausgestattet, da diese ein hohes Saugvermögen mit grosser Robustheit verbinden und dabei preiswert sind. Darüber hinaus werden solche grossen Diffusionspumpen u. a. auch für Band-Beschichtungsanlagen, Anlagen der Vakuum-Metallurgie (Schmelzen/Giessen), füektronenstrahl-Schweissanlagen und für Weltraum-Simulationskammern eingesetzt.
Für diese Anwendungen bietet HSR seine Baureihe grosser Diffusionspumpen mit den Nennweiten 320 mm - 1.000 mm an. Alle Pumpen sind wahlweise in den Versionen ISO-K und ISO-F erhältlich. Die Nenn-Saugvermögen betragen 3.500 l/s - 50.000 l/s. Bei Verwendung eines Baffles liegen die effektiven Saugvermögen, je nach verwendetem Modell, natürlich entsprechend niedriger.

Baffles

Um eine Rückströmung von Diffusionspumpenöl und damit eine Verunreinigung des Rezipienten so weit wie möglich zu unterdrücken, bietet HSR eine Reihe von Baffles an. Diese Baffles werden zwischen Diffusionspumpe und Rezipient geflanscht und der in Richtung Rezipient diffundierende Öldampf kondensier zu einem wesentlichen Teil an den Baffle-Kaltblechen. Diese Baffles unterscheiden sich in der Geometrie sowie in der Art der Kühlung. Je nach Anwendung werden zur Kühlung Wasser, N2 oder eine Kältemaschine benutzt.

Schutzbaffles für Turbopumpen

Eine weitere Anwendung für Baffles besteht im Schutz von Turbopumpen gegen eine unerwünschte und ggf. schädliche Beschichtung der Schaufeln mit leicht kondensierendem Material, z. B. Kohlenstoff oder Indium. Diese patentierten Schutzbaffles werden zwischen Rezipient und Turbopumpe geflanscht und besitzen einen herausnehmbaren Einsatz mit Kaltblechen, an denen die Kondensation stattfindet. Die Kühlung dieser Kaltbleche kann wieder mit Wasser, N2 oder einer Kältemaschine erfolgen. Der Einsatz kann entweder zwischendurch gereinigt, oder aber zeitsparend durch einen sauberen Einsatz ersetzt werden.