Vakuummessgeräte und Sensoren

Kapazitäts-Messröhren der SKY®-Serie

Bei diesen Messröhren wird die druckabhängige Durchbiegung einer Membran kapazitiv von der Membran-Rückseite her gemessen. Dieses Konzept bietet den großen Vorteil der Trennung von Prozessraum und Sensormechanik bzw. -elektronik.
Die Messröhren der SKY®-Serie gibt es in einer großen Zahl von Varianten:

  • Totaldruckmessung (Gasart-unabhängig)
  • temperaturstabilisiert bei 24°C/45°C/100°C/160°C/200°C und damit ganz unterschiedlichen Prozessen anpassbar
  • Messbereiche mit Maximaldrücken von 0,13 mbar - 1,3 bar
  • Vakuumanschluss in KF, CF, VCR und als 1/2" Rohrstutzen
  • auch in Vollkeramik-Ausführung für reaktive bzw. korrosive Prozessumgebungen
  • Anschluss über RS232, DeviceNet oder Profibus

Bayard/Alpert-Pirani-Messröhren

Die kompakten Messröhren der BPG-Reihe, die ein Bayard-Alpert-Element (Heißkathoden-Ionisationsröhre) mit einem Pirani-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von Atmosphäre bis UHV. Sie bieten sich als einfache und wirtschaftliche Lösung zur Druckmessung in Produktions-Vakuumanlagen an.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick:

  • Messbereich 1000 mbar - ca. 5*10-10mbar
  • Bayard-Alpert-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • KF- oder CF-Flansch
  • Druckanzeige am Sensor als Option
  • Zweifach-Filament als Option

Hochdruck-Heißkathoden-Pirani-Messröhren

Die kompakten Messröhren des Typs HPG400, die ein Hochdruck-Heißkathodenionisations-Element mit einem Pirani-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von Atmosphäre bis in den unteren Hochvakuumbereich. Sie eignen sich speziell für die präzise Druckmessung im mittleren Druckbereich, wie in Sputterprozessen, wo sie ihre höchste Genauigkeit besitzen.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick:

  • Messbereich 1000 mbar - ca. 2*10-6 mbar
  • Heißkathoden-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • Druckanzeige am Sensor als Option
  • KF- oder CF-Flansch

Bayard/Alpert-Pirani-Kapazitäts-Messröhren

Die kompakten Kombinations-Messröhren des Typs BCG450, die ein Bayard-Alpert-Element mit einem Pirani-Element und einem Kapazitäts-Element kombinieren, ermöglichen die Messung von Drücken im Bereich von moderatem Überdruck bis UHV. Sie verbinden die Breitband-Druckmessung mit der Funktion eines Druckschalters, der auch bei mäßigem Überdruck funktioniert.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick: 

  • Messbereich 1,5 bar - ca. 5*10-10mbar
  • präziser Druckschaltpunkt, unabhängig von atmosphärischen Druckschwankungen
  • Bayard-Alpert-Element gegen Atmosphäreneinbruch geschützt
  • KF- oder CF-Flansch
  • Druckanzeige am Sensor als Option

Standard Pirani-Messröhren

Die kompakten, mit der neuesten Pirani-Technologie ausgestatteten Messröhren der Baureihe PSG500 stellen die preiswerteste Lösung für die Druckmessung im Feinvakuum-Bereich dar.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick: 

  • Messbereich 1 bar - ca. 5*10-4mbar
  • Nickel-Filament für korrosive Anwendungen als Option
  • 2 einstellbare Schaltpunkte als Option
  • zahlreiche Flanschversionen, z. B. KF, CF, VCR, NPT
  • Baureihe PSG550 mit Druckanzeige am Sensor und digitalem Anschluss

Kapazitäts-Pirani-Kombinationsmessröhren

Die kompakten Kombinations-Messröhren der Baureihe PCG550, die ein Pirani-Element mit einem Kapazitäts-Membranelement kombinieren, eignen sich für die Druckmessung im Bereich zwischen ca. 10-4mbar und Atmosphärendruck, speziell jedoch für den Bereich oberhalb von 10 mbar. Die Druckmessung in Schleusenkammern stellt eine typische Anwendung dar.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick: 

  • Messbereich 1 bar - ca. 5*10-5mbar
  • Totaldruckmessung (Gasart-unabhängig) oberhalb von 10 mbar
  • Anschluss über DeviceNet und Profibus als Option
  • zahlreiche Flanschversionen, z. B. KF, CF, VCR, NPT

Penning-Messröhren

Die Penning-Messröhren des Typs PEG100 stellen die preiswerteste und robusteste Lösung für die Druckmessung Hochvakuum-Bereich dar.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick: 

  • Messbereich 1*10-2 mbar - 1*10-9 mbar
  • sehr gute Zündeigenschaften
  • Anschluss über DeviceNet und Profibus als Option
  • KF- oder CF-Flansch

Inverses Magnetron- Pirani-Kombinationsmessröhren

Die Kombinations-Messröhren des Typs MPG400, die ein Pirani-Element mit einem inversen Magnetronelement kombinieren, eignen sich für die Druckmessung im gesamten Bereich zwischen ca. 10-8 mbar und Atmosphärendruck.
Die wichtigsten Daten auf einen Blick: 

  • Messbereich 1 bar - 5*10-8 mbar
  • sehr gute Zündeigenschaften
  • Anschluss über DeviceNet und Profibus als Option
  • KF- oder CF-Flansch

Druckanzeigegerät VGC401/402/403

Zur Anzeige der Messwerte aller Vakuum-Messröhren von Inficon dienen die Geräte VGC401, VGC402 und VGC403. Diese Geräte unterscheiden sich im Wesentlichen durch die Zahl der Messkanäle (1, 2 oder 3). Für jeden Kanal können bis zu 6 Schaltpunkte mit einstellbarer Hysterese gewählt werden. Der analoge Ausgang jedes Kanals kann linear oder logarithmisch gewählt werden. 

Anzeigeinstrument für Pirani-Messröhren

Das Anzeigegerät PGD400 dient zum Betrieb der Messröhren des Typs PSG500. Mit Hilfe seines analogen Ausgangs kann das Gerät in eine SPS eingebunden, oder der angezeigte Wert über einen Schreiber mitgeschrieben werden.