Zubehör

Mechanische Durchführungen

Für die Durchführung von Schiebe- und Drehbewegungen ins Vakuum bietet Inficon eine Reihe von Durchführungen an. Diese gibt es in HV- und UHV-Ausführungen. 

Elektrische Durchführungen

Für die Durchführung elektrischer Signale ins Vakuum bietet Inficon eine Reihe von Durchführungen in HV- und UHV-Versionen an. Das Produktspektrum umfasst unter anderem:

  • Koaxial-Durchführungen für HF-Signale, auch mit mehreren Anschlüssen
  • Durchführungen für hohe Spannungen, auch mit mehreren Anschlüssen
  • Durchführungen für hohe Ströme, auch wassergekühlt und mit mehreren Anschlüssen
  • Durchführungen für Messsignale, für unterschiedliche Leiteranzahlen

Sichtfenster

Inficon bietet eine Reihe von Sichtfenstern zur Beobachtung von Vorgängen im Vakuum an. Diese Sichtfenster gibt es mit CF- und ISO-Flanschen für HV- und UHV-Anwendungen. In Verbindung mit einer Drehdurchführung und einer entsprechenden Blende können diese Fenster auch gegen Beschichtung geschützt werden. 

Durchführungen für Flüssigkeiten

Für die Durchführung von Flüssigkeiten ins Vakuum bietet Inficon zwei Durchführungen in HV- und UHV-Versionen an. Diese sind für heiße und kalte Flüssigkeiten geeignet, z. B. für flüssigen Stickstoff. 

Druckschalter

Die Druckschalter der Typen VSA und VSD dienen zur Überwachung des Drucks in Vakuumbehältern und schalten bei Erreichen einer voreingestellten Druckschwelle. Es gibt diese Schalter zum einen als Absolutdruckschalter, die den Druck im angeschlossenen Volumen gegen den Druck in einem abgeschlossenen Referenzvolumen messen. Zum anderen gibt es diese Schalter als Relativdruckschalter, die gegen die umgebende Atmosphäre messen.

Vakuum-Kugellager

Für den Einsatz im Vakuum bietet Inficon eine Reihe von speziell konfigurierten Kugellagern an. Diese Lager sind für den Temperaturbereich -200 - 300°C spezifiziert und für Achsdurchmesser von 4 mm - 12 mm erhältlich.