Schwingquarz-Sensoren
Standard-Sensoren
Für alle Standard-Anwendungen:
- Sensoren ohne Durchführung, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- Sensoren mit Durchführung, Länge einstellbar, Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- Sensor mit Frontbeladung oder seitlicher Beladung (Cool Drawer)
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UHV-Sensoren
Für Anwendungen, bei denen es auf niedrigste Drücke oder höchste Sauberkeit ankommt:
- Orientierung senkrecht oder parallel zu den Wasserleitungen
- einige Modelle vor der Endmontage in der Länge einstellbar
- auf Flansch DN40CF
- auch mit Blende
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Vakuum-Durchführungen
Mehrfach-Sensoren
Manchmal ist es für die Prozesssicherheit wichtig, redundante Schwingquarz-Sensoren in der Beschichtungsanlage zu haben. Auch gibt es Fälle, in denen Sensoren aus anlagenbedingten Gründen nur in sehr großen Zeitabständen nachgeladen werden können. In wiederum anderen Fällen ist es sinnvoll, jeden Quarz nur jeweils mit demselben Material zu beschichten, um die Präzision der Messung zu steigern. Für alle diese Fälle wurden Mehrfach-Sensoren entwickelt, die es gestatten, mehrere Messquarze nacheinander bzw. abwechselnd in die Messposition zu bringen:
- Doppel-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
- 6fach-Sensor für die verschiebbare Montage in einer fest positionierten Durchführung, meistens im Zentrum des Substrat-Drehantriebs
- 12fach-Sensor für die Montage an beliebigen Stellen der Beschichtungsanlage
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Spezielle Sensoren
Für besondere Messumgebungen:
- Sputtersensor mit eingebautem Deflektor für energetische Elektronen, optimiert für Plasmaprozesse allgemein, speziell jedoch für Sputterprozesse
- ALD-Sensor für Temperaturen bis zu 450 °C und den Einsatz in einer rauen Umgebung
- Sensoren nach Kundenspezifikation auf Anfrage, z. B. mit eingebautem Thermoelement
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