Dünnschichttechnik

Die Firma INFICON bietet ein komplettes Geräteprogramm zur Messung von Beschichtungsraten und Schichtdicken für die Vakuum-Beschichtungstechnik an. Dieses Programm umfasst Sensoren und Monitore/Regelgeräte für praktisch alle gängigen Beschichtungsprozesse und -Verfahren. In den meisten Fällen wird die Schwingquarz-Technik als seit langer Zeit bewährte und preiswerte Methode die richtige Wahl sein. Allerdings gibt es immer wieder Fälle, in denen sehr hohe oder sehr niedrige Raten, oder auch sehr lange Prozessdauern, eine andere Messmethode erfordern. Hier kann meistens die EIES-Messtechnik eingesetzt werden.