Schwingquarz-Messgeräte

STM-2

Eigenschaften:

  • 1 Messkanal, bis zu 8 STM-2 an einem PC
  • LabVIEW und Windows Software
  • USB Schnittstelle
  • Codeposition Überwachungsfunktion
  • Eingebauter Oszillator
  • PC erforderlich

Geeignet für Einzel-Sensoren ohne Blende

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SQM-160

Eigenschaften:

  • 2 Messkanäle
  • LabVIEW Software
  • Codeposition Überwachungsfunktion

Geeignet für Einzel- und Doppel-Sensoren mit/ohne Blende

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IQM-233

Eigenschaften:

  • 3 Messkanäle, 3 Regelkanäle
    (bis zu 6 Mess- und Regelkanäle in Verbindung mit optionaler IQM-233 + IQS233) 
  • PCI Express Schnittstelle
  • Codeposition Regelfunktion
  • Windows basierte Software
  • Optionale IQS-233 Co-Deposition Software

Geeignet für Einzel- und Doppel-Schwingquarz Sensoren mit/ohne Blende
(Blenden Betätigung nur in Verbindung mit der optionalen IQS-233 Software)

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SQM-310 und SQC-310C

Eigenschaften:

  • 2 Messkanäle (optional 4), 2 Regelkanäle (optional 4)(SQC-310C je 4) 
  • Windows Software
  • RS232 + USB Schnittstelle (optional RS232 + Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion nur bei SQC-310C

Geeignet für Einzel- Doppel und Mehrfachsensoren
(Position Feedback bei Mehrfachsensoren nicht möglich)

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Übersicht über die Schwingquarz-Mess- und Regelgeräte

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XTC/3 Dünnschicht-Prozessregelgerät (XTC/3S Einzelne Schicht und XTC/3M Mehrere Schichten)

Eigenschaften:

  • ModeLock Technologie
  • je 2 Mess/Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Windows Software

Geeignet für Einzel-, Doppel und Mehrfachsensoren

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IC/6

Eigenschaften:

  • ModeLock Technologie 
  • Auto Z-Funktion
  • 2 Messkanäle (optional bis zu 8), bis zu 6 Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion

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Cygnus 2

Eigenschaften:

  • ModeLock Technologie
  • Auto Z-Funktion
  • 2 Messkanäle (optional bis zu 6), bis zu 6 Regelkanäle
  • RS232 Schnittstelle (optional Ethernet)
  • Co-Deposition Regelfunktion

Geeignet für Einzel- Doppel und Mehrfachsensoren
(Position Feedback bei Mehrfachsensoren nicht möglich)

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Technischer Service

Das Servicezentrum für die Schwingquarz-Messgeräte von Inficon befindet sich in Dresden. Wir bieten Ihnen gern die Weiterleitung Ihres Gerätes dorthin an.

Darüber hinaus beraten wir Sie gern im Falle von Fragen und Problemen im Zusammenhang mit der Schwingquarz-Messtechnik in Ihrer Beschichtungsanlage. Schließlich stehen wir bei Fragen zum Einbau der Sensoren in Ihre Anlage und der Integration der Geräte in Ihre Steuerung zur Verfügung.